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题名改进区域灰度模型的晶圆针印边缘亚像素检测
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作者
仲重光
马国军
朱勤华
张博文
王亚军
杨俊杰
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机构
江苏科技大学海洋学院
江阴捷芯电子科技有限公司
北方自动控制技术研究所
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出处
《火力与指挥控制》
北大核心
2025年第4期120-127,共8页
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基金
国家自然科学基金(61371114)
江苏省研究生科研与实践创新计划基金资助项目(SJCX23_2141)。
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文摘
为了实现晶圆针印图像区域边缘的高精度检测,提出一种改进区域灰度模型的亚像素检测方法。在Canny算子中使用各向异性扩散滤波代替高斯滤波,实现针印区域的像素级边缘定位;对边缘点建立9×3的子图,设计自适应加权法确定重叠像素的权值,对子图合并中的重叠像素加权,经过迭代得到构造新子图;最后,以子图中的区域灰度特征计算亚像素点,得到精确坐标。实验结果表明,改进算法可实现晶圆针印的高精度边缘检测,定位精度在0.25个像素内,在混合高斯噪声的条件下定位精度优于Canny-d、传统的Zernike矩和区域灰度模型法,具有较强的抗噪能力和稳定性,具备良好的处理效率。
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关键词
亚像素
晶圆针印
区域灰度模型
边缘检测
自适应加权
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Keywords
sub-pixel
wafer probe print
regional grayscale model
edge detection
adaptive weighting
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分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于改进灰狼优化算法的枪弹着靶快速定位方法
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作者
鲁旭涛
郭亚坤
李静
郭晓宇
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机构
中北大学机电工程学院
中北大学电气与控制工程学院
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出处
《科学技术与工程》
北大核心
2025年第3期1157-1164,共8页
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基金
山西省重点研发计划(201903D221025)。
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文摘
针对传统CCD(charge coupled device)交汇立靶采集的图像中,枪弹位置提取时采用背景差分法、互相关法所存在通用性差、耗时长的问题。通过对CCD精度靶图像弹丸提取所存在的问题进行深入分析,提出了基于改进灰狼算法的CCD精度靶图像弹丸提取方法。首先,将子弹提取问题转化为在一定约束条件下,寻找灰度值最小连通区域问题。其次,建立了最小化区域灰度值模型、竖直光斑区域及低灰度区域剔除模型。然后,采用基于维度学习的狩猎(dimensional learning-based hunting,DLH)搜索策略的改进灰狼算法,来跳出局部最优解,进而提升求解性能。最后,在参数设定相同的条件下,采用改进的灰狼算法、灰狼算法、飞蛾扑火算法、互相关算法、背景差分法进行了对比试验。实验结果表明,在上述方案下,平均求解时间缩短至12 ms。同时,目标检测成功率达到了95%,相较其他对比算法,性能提升明显。
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关键词
IGWO算法
搜索策略
最小化区域灰度值模型
线阵CCD
着靶位置
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Keywords
IGWO algorithm
search strategy
minimize the regional gray value model
linear array CCD
target position
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分类号
TP751
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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