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湿法刻蚀Ag纳米线阵列制备SiO_(2)固态纳米孔薄膜: 1; 作者辛若晨李国华 +1 位作者高俊华曹鸿涛《高等学校化学学报》北大核心 2025年第7期14-21,共8页; 相比传统生物纳米孔薄膜,固态纳米孔薄膜在化学、机械及热稳定性方面表现更优,因此在生物探测和生命健康等领域具有广泛应用前景.本文通过多靶磁控共溅射系统制备银(Ag)纳米线阵列-二氧化硅(SiO_(2))复合超材料薄膜,并采用化学湿法刻蚀... 展开更多; 关键词固态纳米孔化学湿法刻蚀银纳米线阵列溶解磁控溅射; 在线阅读下载PDF 职称材料

Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃减反射功能化研究: 2; 作者郝霞王其琛 +4 位作者符有杰李军葛赵会峰姜宏王卓《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第4期1366-1373,共8页; 随着光伏产业的高速发展,与之配套使用的减反射玻璃重新进入了研究者们的视野。本文采用湿化学二步刻蚀法制备了具有减反射性能的Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃,采用分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线能谱仪等测试样品的... 展开更多; 关键词减反射玻璃透过率 Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃湿化学二步刻蚀法表面微裂纹纳米孔; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征被引量：3: 3; 作者韩国强景蔚萱 +1 位作者蒋庄德朱明智《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第5期426-429,共4页; 利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对... 展开更多; 关键词计量学 MEMS 各向异性化学湿法刻蚀原子力显微镜线宽测量探针表征; 在线阅读下载PDF 职称材料

PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制被引量：6: 4; 作者夏冬林刘梅冬 +2 位作者曾亦可陈实赵修建《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期196-199,共4页; 对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。; 关键词锆钛酸铅(PZT) 铁电厚膜铁电声纳换能器湿法化学刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化被引量：3: 5; 作者娄利飞杨银堂李跃进《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期453-455,共3页; 采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL... 展开更多; 关键词锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜微传感器湿法化学刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅纳米电极超低电压场致电离特性研究被引量：1: 6; 作者陈云张健 +1 位作者于江江郑小东《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期194-201,共8页; 用湿法化学刻蚀制备出具有直立结构的硅纳米线,其平均长度为20μm,平均直径100 nm.将该硅纳米线作为电容式电离结构的一维纳米电极,建立场致电离的测试系统,并在常温常压下测试出电离的全伏安特性,得出了一维纳米电极系统气体电离的规律... 展开更多; 关键词硅纳米线场致电离击穿电压湿法化学刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名湿法刻蚀Ag纳米线阵列制备SiO_(2)固态纳米孔薄膜: 1; 作者辛若晨李国华高俊华曹鸿涛; 机构浙江工业大学化学工程学院西湖大学光电研究院中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 出处《高等学校化学学报》北大核心 2025年第7期14-21,共8页; 基金浙江省尖兵科技计划项目(批准号:2024C01243(SD2)) 宁波市自然科学基金(批准号:2021J201)资助; 文摘相比传统生物纳米孔薄膜,固态纳米孔薄膜在化学、机械及热稳定性方面表现更优,因此在生物探测和生命健康等领域具有广泛应用前景.本文通过多靶磁控共溅射系统制备银(Ag)纳米线阵列-二氧化硅(SiO_(2))复合超材料薄膜,并采用化学湿法刻蚀技术,利用过氧化氢(H_(2)O_(2))刻蚀液选择性溶解Ag纳米线阵列,成功制备了平均直径约为5 nm的SiO_(2)固态纳米孔阵列薄膜.通过X射线衍射、电感耦合等离子体发射光谱和椭圆偏振光谱等分析手段,证实了Ag纳米线在H_(2)O_(2)溶液中完全溶解,并阐明了Ag纳米线与H_(2)O_(2)的化学反应机理.此外,利用扫描电子显微镜和小角X射线散射仪对SiO_(2)固态纳米孔阵列的形貌及微结构尺寸进行了表征.本研究成功制备了直径小于10 nm的SiO_(2)固态纳米孔阵列结构,为高效制备SiO_(2)固态纳米孔阵列提供了新的思路.; 关键词固态纳米孔化学湿法刻蚀银纳米线阵列溶解磁控溅射; Keywords Solid state nanopore Chemical wet etching Ag nanowire array Dissolution Magnetron sputtering; 分类号 O614 [理学—无机化学] O645 [理学—物理化学] TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃减反射功能化研究: 2; 作者郝霞王其琛符有杰李军葛赵会峰姜宏王卓; 机构海南海控特玻科技有限公司海南大学山东轻工职业学院; 出处《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第4期1366-1373,共8页; 基金海南省重大科技计划(ZDKJ2021049)。; 文摘随着光伏产业的高速发展,与之配套使用的减反射玻璃重新进入了研究者们的视野。本文采用湿化学二步刻蚀法制备了具有减反射性能的Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃,采用分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线能谱仪等测试样品的透过率、表面形貌和断面膜层厚度、表面化学成分、耐酸性和硬度,研究了反应温度和反应时间、玻璃膜层结构与透过率的关系。通过使用弱碱性的混合盐溶液对Na_(2)O-CaO-SiO_(2)玻璃表面进行化学刻蚀,使玻璃表面Si—O键断裂,在玻璃表面形成纳米膜层结构,当膜层厚度达到一定厚度时,一定波长的光在玻璃表面发生相消干涉,透过率最高可达到97.8%,刻蚀前后玻璃成分基本无变化,铅笔硬度达到3H。; 关键词减反射玻璃透过率 Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃湿化学二步刻蚀法表面微裂纹纳米孔; Keywords anti-reflection glass transmittance Na_(2)O-CaO-SiO_(2)flat glass wet chemical two-step etching method surface micro-crack crack extension; 分类号 TQ171 [化学工程—玻璃工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征被引量：3: 3; 作者韩国强景蔚萱蒋庄德朱明智; 机构西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室中国工程物理研究院总体工程研究所; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第5期426-429,共4页; 基金国家自然科学基金（50535030,90923001）西安交通大学交叉学科项目（2009xjtuje16）; 文摘利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究，提出了AFM探针参数动态表征的模型，基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征，提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征。该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善。; 关键词计量学 MEMS 各向异性化学湿法刻蚀原子力显微镜线宽测量探针表征; Keywords Metrology MEMS Atomic force microscopy （AFM） Scanning electron microscope （SEM） Linewidth measurement Tip characterization; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制被引量：6: 4; 作者夏冬林刘梅冬曾亦可陈实赵修建; 机构武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室华中科技大学电子科学与技术系; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期196-199,共4页; 文摘对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。; 关键词锆钛酸铅(PZT) 铁电厚膜铁电声纳换能器湿法化学刻蚀; Keywords lead zirconate titanate (PZT) ferroelectric thick film ferroelectric sonar transducer wet chemical etching; 分类号 TM22 [一般工业技术—材料科学与工程] TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化被引量：3: 5; 作者娄利飞杨银堂李跃进; 机构西安电子科技大学微电子学所宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期453-455,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(90207022) 武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141); 文摘采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL:4drops(4滴HF溶液)配比的腐蚀液在室温下对未结晶的PZT压电薄膜进行了湿法腐蚀微细加工;然后,对图形化好的压电薄膜进行再结晶的热处理,实验结果表明这种方法可用于压电薄膜微器件的制备。; 关键词锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜微传感器湿法化学刻蚀; Keywords lead zirconate titanate （PZT） piezoelectric thin film micro-sensor wet chemical etching; 分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅纳米电极超低电压场致电离特性研究被引量：1: 6; 作者陈云张健于江江郑小东; 机构华东师范大学电子工程系南通大学电子信息学院; 出处《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期194-201,共8页; 基金国家自然科学基金(61076070) 南通市应用研究计划项目(BK2012039) 南通大学自然科学基金项目(102025); 文摘用湿法化学刻蚀制备出具有直立结构的硅纳米线,其平均长度为20μm,平均直径100 nm.将该硅纳米线作为电容式电离结构的一维纳米电极,建立场致电离的测试系统,并在常温常压下测试出电离的全伏安特性,得出了一维纳米电极系统气体电离的规律.测试结果表明,利用湿法化学刻蚀制备的硅纳米线作为一维纳米电极,可以大大降低系统的击穿电压,原因在于它具有较高的场增强因子、小尺寸效应以及高的缺陷密度.; 关键词硅纳米线场致电离击穿电压湿法化学刻蚀; Keywords silicon nanowires（SiNWs） field ionization breakdown voltage wet chemical etching; 分类号 O47 [理学—半导体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	湿法刻蚀Ag纳米线阵列制备SiO_(2)固态纳米孔薄膜	辛若晨李国华高俊华曹鸿涛	《高等学校化学学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	Na_(2)O-CaO-SiO_(2)平板玻璃减反射功能化研究	郝霞王其琛符有杰李军葛赵会峰姜宏王卓	《硅酸盐通报》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征	韩国强景蔚萱蒋庄德朱明智	《计量学报》 CSCD 北大核心	2010	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制	夏冬林刘梅冬曾亦可陈实赵修建	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2004	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化	娄利飞杨银堂李跃进	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	硅纳米电极超低电压场致电离特性研究	陈云张健于江江郑小东	《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料