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化学气相输运法(CVT)制备微米级的喇叭管状ZnO晶体 被引量:1
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作者 韦志仁 李振军 +2 位作者 高平 张利明 董国义 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第4期653-656,共4页
氧化锌为直接带隙宽禁带半导体材料,由于其优良的光电性能,预计在未来光电信息领域有着巨大的应用前景,引起了广泛的研究兴趣。
关键词 晶体 管状氧化锌 化学
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化学气相输运法制备ZnO晶体 被引量:2
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作者 韦志仁 武明晓 +6 位作者 郭树青 高平 尹利君 黄存新 张金平 张晓军 董国义 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1261-1264,共4页
采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向。以(00... 采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向。以(0002)方向的ZnO籽晶片作基片,制备了ZnO单晶厚膜,晶体呈螺旋状外延生长,正极面的单晶摇摆曲线半高宽为543.6弧秒。 展开更多
关键词 ZNO晶体 化学 摇摆曲线
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单温区管式炉气相输运生长NbSe_2超导单晶
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作者 任世伟 李傲雷 董成 《河北科技大学学报》 CAS 2015年第3期251-254,共4页
化学气相输运(CVT)生长单晶通常采用双温区管式炉。利用普通单温区管式炉中的温度梯度实现了化学气相输运,并成功生长出了Nb Se2单晶。运用扫描电子显微镜,X射线衍射仪等方法对制备的Nb Se2单晶进行了形貌和结构的表征,并测量了低温下Nb... 化学气相输运(CVT)生长单晶通常采用双温区管式炉。利用普通单温区管式炉中的温度梯度实现了化学气相输运,并成功生长出了Nb Se2单晶。运用扫描电子显微镜,X射线衍射仪等方法对制备的Nb Se2单晶进行了形貌和结构的表征,并测量了低温下Nb Se2单晶的磁化率和电阻性质。结果表明,实验上生长出来的Nb Se2单晶具有金属光泽,晶体尺寸约为2 mm×2 mm,超导转变温度和转变宽度分别为7.1 K和0.3 K,超导体积分数约为79%。因此,单温区管式炉生长晶体的方法也可用于其他功能材料单晶的制备。 展开更多
关键词 晶体学 NB Se2 单温区管式炉 化学 超导电性
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无籽晶化学气相法生长ZnO晶体 被引量:1
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作者 胡永琴 曾体贤 +4 位作者 陈太红 王茂州 彭丽萍 王雪敏 吴卫东 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1504-1508,共5页
采用化学气相法自发成核的方式生长出Φ4 mm×5 mm ZnO单晶体。分析了化学气相输运机制,获得ZnO-C体系在生长过程中的压强为0.43 MPa,确定以扩散传输为主;设计了新的生长石英安瓿(锥角约为35°),让沿较快面生长的晶核能淘汰... 采用化学气相法自发成核的方式生长出Φ4 mm×5 mm ZnO单晶体。分析了化学气相输运机制,获得ZnO-C体系在生长过程中的压强为0.43 MPa,确定以扩散传输为主;设计了新的生长石英安瓿(锥角约为35°),让沿较快面生长的晶核能淘汰其他晶胚,易长大并形成单晶;X射线衍射测试晶体生长显露面为(002)面,其回摆曲线半峰宽为18 arcsec;六边形的腐蚀蚀坑确定该面为ZnO(001)的Zn面,位错缺陷密度为103cm-2量级。晶体在368 nm处出现了较强的紫外发光峰,属带边激子跃迁;紫外透过率在450~1000 nm内达65%,截止波长为390 nm,对应禁带宽度约为3.12 e V。结果表明,采用无籽晶化学气相法生长的ZnO晶体结晶度好,质量较高。 展开更多
关键词 ZNO 无籽晶化学 透过率
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一种强制脉冲化学气相渗透工艺方法
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《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2008年第2期69-69,共1页
本发明涉及一种强制脉冲CVI工艺,其特征在于引入强制脉冲流动的方法.以保证在界面均匀沉积的同时提高界面沉积速率:具体工艺是在石墨模具上部开口,气体导管位于石墨模具底部.在界面沉积过程中,将纤维、纤维编织或预制件放置在石... 本发明涉及一种强制脉冲CVI工艺,其特征在于引入强制脉冲流动的方法.以保证在界面均匀沉积的同时提高界面沉积速率:具体工艺是在石墨模具上部开口,气体导管位于石墨模具底部.在界面沉积过程中,将纤维、纤维编织或预制件放置在石墨模具上部。在真空状态下向反应客器内通入含反应前驱物的气体。通过气体管道将气体输运到预热的石墨模具内。强制气体向上穿过经纤维、纤维编织体或预制件。 展开更多
关键词 脉冲流动 工艺方 化学渗透 石墨模具 纤维编织 沉积速率 CVI工艺
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金属有机化学气相沉淀反应器结构的模拟优化 被引量:1
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作者 张红 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1328-1332,共5页
研究了金属有机化学气相沉淀反应器的几何形状对于反应腔内的涡旋产生的影响,表明衬底上方的涡旋不仅会影响到薄膜生长的厚度,而且会影响到薄膜的纯度和成分的均匀性。通过改变反应器的结构和形状来优化反应器设计,从而消除衬底上方的涡... 研究了金属有机化学气相沉淀反应器的几何形状对于反应腔内的涡旋产生的影响,表明衬底上方的涡旋不仅会影响到薄膜生长的厚度,而且会影响到薄膜的纯度和成分的均匀性。通过改变反应器的结构和形状来优化反应器设计,从而消除衬底上方的涡旋,得到光滑而均匀的流场。根据模拟结果发现,流道高度在影响热对流涡旋的几何参数中起主要作用,而流道长度影响较小。对于优化后的反应器,引发自然对流的临界流道高度为H=2.5cm(D=20cm)。 展开更多
关键词 金属有机化学沉淀 过程 薄膜生长 优化设计
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沉积气压对纳米晶硅薄膜晶化率与电输运性能的影响 被引量:1
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作者 潘园园 沈鸿烈 +2 位作者 张磊 吴天如 江丰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期110-114,共5页
采用热丝化学气相沉积法在不同气压(1~8 Pa)下沉积了p型纳米晶硅薄膜,研究了沉积气压对薄膜晶化率和电输运性能的影响。结果表明,薄膜的晶化率和平均晶粒尺寸随沉积气压升高而增大,而当沉积气压超过6 Pa后,薄膜的晶化率和平均晶粒尺寸... 采用热丝化学气相沉积法在不同气压(1~8 Pa)下沉积了p型纳米晶硅薄膜,研究了沉积气压对薄膜晶化率和电输运性能的影响。结果表明,薄膜的晶化率和平均晶粒尺寸随沉积气压升高而增大,而当沉积气压超过6 Pa后,薄膜的晶化率和平均晶粒尺寸会减小。当沉积气压由1 Pa升高到2 Pa时,BH3粒子迅速增多,且吸附方式是化学吸附,因而载流子浓度从8.9×1018cm-3迅速增大到6.252×1020cm-3。此时电导率从1.08 S/cm显著增加到29.5 S/cm,而电导激活能则从95.8meV急剧减小至18.6 meV,这是硼杂质掺杂浓度和薄膜的晶化率迅速增大所致。 展开更多
关键词 沉积 纳米晶硅 热丝化学沉积 晶化率 性能
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高效可重现的SbI_(3)声化学合成及其薄膜制备
8
作者 李晴雯 钟敏 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第6期1042-1049,共8页
二维金属卤化物近年来成为研究热点,其中三碘化锑(SbI_(3))因具有光学各向异性、较高的折射率、二次谐波等特性被用于辐射探测器和光电器件。但SbI_(3)价格昂贵,限制了其大规模应用。本文以锑粉和碘粉为原料,首次采用声化学方法合成了Sb... 二维金属卤化物近年来成为研究热点,其中三碘化锑(SbI_(3))因具有光学各向异性、较高的折射率、二次谐波等特性被用于辐射探测器和光电器件。但SbI_(3)价格昂贵,限制了其大规模应用。本文以锑粉和碘粉为原料,首次采用声化学方法合成了SbI_(3),并研究了超声时间、反应溶剂、Sb物质的量及锑碘摩尔比对产物的影响,并以此粉体为原料制得SbI_(3)晶体和薄膜。结果表明,当溶剂为甲醇,锑碘摩尔比n(Sb)∶n(I_(2))=2∶3.6(碘过量20%),超声时间为100 min时,得到纯相SbI_(3)粉体。采用升华法在温度为220℃,反应时间为3 h时得到(006)高取向的SbI_(3)晶体。采用气相输运沉积方法制备SbI_(3)薄膜时,沉积距离对薄膜形貌有较大影响。沉积距离增大使薄膜致密性提高,但沉积区温度降低导致薄膜晶化变差,因此要选择合适的沉积距离。此处,沉积距离为17.5 cm时获得了致密均匀的SbI_(3)薄膜。该声化学合成SbI_(3)的方法简单高效,成本低,重现性好,并可拓展应用于AgI、CuI、BiI_(3)和Cs_(3)Bi_(2)I_(9)等金属碘化物的合成。 展开更多
关键词 三碘化锑 半导体光电材料 化学合成 升华 沉积
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ZnSe单晶的气相生长及光学性质 被引量:1
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作者 李焕勇 介万奇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期567-569,572,共4页
 用改进的化学气相输运技术(CVT),以Zn(NH4)3Cl5为新的气相输运剂,直接从单质Zn和Se一步在封密管中生长了ZnSe单晶,升华温度1001~1020℃,管内温差<4℃。经过两周生长,得到8mm×7mm×0.8mm的绿色ZnSe晶体。XRD表明晶体表面...  用改进的化学气相输运技术(CVT),以Zn(NH4)3Cl5为新的气相输运剂,直接从单质Zn和Se一步在封密管中生长了ZnSe单晶,升华温度1001~1020℃,管内温差<4℃。经过两周生长,得到8mm×7mm×0.8mm的绿色ZnSe晶体。XRD表明晶体表面为(111)面;受气固界面形貌影响,双晶衍射半高峰宽为50s;PL谱由DPA和SA两个发光峰组成;并研究了晶体片的吸收光谱、荧光光谱、反射光谱和红外透过等光学性质。 展开更多
关键词 化学 光学性质 ZnSe单晶 生长
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近化学计量组分掺铒铌酸锂的制备及性能测试
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作者 李文润 耿华 +1 位作者 姚江宏 阮永丰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期351-355,共5页
通过气相输运平衡技术 ,严格控制生长条件和气氛 ,制备了化学组分均匀、光学质量优异的近化学计量组分Er:LiNbO3 晶体。通过对吸收边、喇曼谱及红外OH-吸收谱的测量 ,发现吸收边“蓝移” ;OH-吸收带显著减弱 ;Er:LiNbO3 晶体中的E模 (15... 通过气相输运平衡技术 ,严格控制生长条件和气氛 ,制备了化学组分均匀、光学质量优异的近化学计量组分Er:LiNbO3 晶体。通过对吸收边、喇曼谱及红外OH-吸收谱的测量 ,发现吸收边“蓝移” ;OH-吸收带显著减弱 ;Er:LiNbO3 晶体中的E模 (15 2cm-1)和A1模 (6 32cm-1)的线宽也明显变窄。这些特征都证实了得到的Er:LiNbO3 晶体已接近于化学计量组分 ,经过计算 ,其Li+ 含量达到 4 9.7mol%。 展开更多
关键词 化学计量组分 掺杂 铒铌酸锂 制备 性能测试 平衡 喇曼光谱 OH^-吸收谱
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溶液法生长大面积超薄钙钛矿单晶薄膜 被引量:1
11
作者 陈亮 田中群 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2021年第3期9-10,共2页
卤化物钙钛矿由于其独特的光电性质,在薄膜光电子器件领域具有极大潜力1。虽然许多工作都集中在多晶钙钛矿材料上,但单晶钙钛矿比多晶具有更低的缺陷态密度、更好的载流子输运能力和更高的稳定性2,3,可以有有效减少甚至消除载流子输运... 卤化物钙钛矿由于其独特的光电性质,在薄膜光电子器件领域具有极大潜力1。虽然许多工作都集中在多晶钙钛矿材料上,但单晶钙钛矿比多晶具有更低的缺陷态密度、更好的载流子输运能力和更高的稳定性2,3,可以有有效减少甚至消除载流子输运过程中的散射损失以及在晶界处的非辐射性复合4。采用单晶钙钛矿薄膜作为器件活性层被认为是进一步提高钙钛矿光电子器件性能的理想方案。目前,研究报道的钙钛矿单晶薄膜生长方法主要通过化学气相沉积和溶液空间限制法5,6,然而,所制备的薄膜厚度往往较厚,相应的器件性能也没有多晶薄膜的器件高7,因此,生长高质量的超薄大面积钙钛矿单晶薄膜至关重要。 展开更多
关键词 光电子器件 载流子 器件性能 化学沉积 钙钛矿 多晶薄膜 单晶薄膜 光电性质
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gGaS_2单晶生长与完整性研究 被引量:6
12
作者 朱兴华 赵北君 +5 位作者 朱世富 于丰亮 邵双运 宋芳 高德友 蔡力 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期63-66,共4页
采用二温区气相输运温度振荡方法合成了高纯单相致密的AgGaS2 多晶 ,计算出晶格常数a=5.7535nm ,c =10 .30 0 8nm ,以及S原子位置x =0 .2 79,与PDF值相差很小 ,表明其是高质量的多晶原料。以此为原料用改进Bridgman法生长出直径 15mm长... 采用二温区气相输运温度振荡方法合成了高纯单相致密的AgGaS2 多晶 ,计算出晶格常数a=5.7535nm ,c =10 .30 0 8nm ,以及S原子位置x =0 .2 79,与PDF值相差很小 ,表明其是高质量的多晶原料。以此为原料用改进Bridgman法生长出直径 15mm长度 30mm的单晶体 ,经外形观测、解理试验和X射线衍射分析表明其是结晶完整的单晶体。 展开更多
关键词 AGGAS2 多晶合成 单晶生长 二温区温度振荡方 改进Bridgman 结晶完整性
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同质外延生长ZnO单晶结构及光电性能的研究 被引量:1
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作者 刘振华 樊龙 +3 位作者 符亚军 王进 曹林洪 吴卫东 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期768-775,共8页
本文报道了同质外延生长氧化锌(ZnO)单晶在高温氧气气氛退火前后的结构及光电特性。利用化学气相输运(CVT)法生长了红棕色的ZnO单晶,且进行高温氧气气氛退火处理后的ZnO单晶呈现无色透明状。通过X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS... 本文报道了同质外延生长氧化锌(ZnO)单晶在高温氧气气氛退火前后的结构及光电特性。利用化学气相输运(CVT)法生长了红棕色的ZnO单晶,且进行高温氧气气氛退火处理后的ZnO单晶呈现无色透明状。通过X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、能谱仪(EDS)和拉曼(Raman)光谱测试分析了高温氧气气氛退火前后的ZnO单晶结构,讨论了退火对单晶内部缺陷类型及结构的影响。XRD测试表明ZnO单晶的生长方向为(002)方向。退火前后ZnO单晶的ω摇摆曲线半高宽分别为59″和31″,表明退火后单晶内缺陷显著减少;XPS和EDS能谱分析了退火前后ZnO单晶的成分和元素价态,结果表明高温氧气气氛处理后单晶内Zn和O元素含量比更接近理论值;通过Raman光谱分析了高温氧气气氛处理前后ZnO单晶的不同拉曼振动模式;通过紫外光谱数据分析,得到了退火前后ZnO单晶的光学禁带宽度分别为3.05 eV和3.2 eV;最后,通过Hall测试分析了高温氧气气氛退火处理前后ZnO单晶的电学性能参数,并深入讨论了退火前后ZnO单晶的低温电输运特性。 展开更多
关键词 ZNO 化学 晶格氧 禁带宽度 载流子浓度 Hall效应
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利用真空固态反应合成高质量二维过渡金属二硫化物晶体及其应用 被引量:1
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作者 段瑞焕 邓娅 +1 位作者 杨杰夫 刘政 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期1-21,共21页
二维过渡金属二硫化物(TMD)晶体由于其结构的多样性和独特的性质备受关注。真空固态反应法是生长高质量二维TMD晶体的一种强有力工具,此方法大大推动了基于二维TMD晶体的基础研究和应用探索。在这篇综述中,我们总结了在真空系统中生长... 二维过渡金属二硫化物(TMD)晶体由于其结构的多样性和独特的性质备受关注。真空固态反应法是生长高质量二维TMD晶体的一种强有力工具,此方法大大推动了基于二维TMD晶体的基础研究和应用探索。在这篇综述中,我们总结了在真空系统中生长高质量二维TMD晶体的方法,并讨论了影响二维TMD晶体尺寸、质量、形态和多型性的因素。我们还简要讨论了二维TMD晶体的物理性质及各种应用。最后,对真空固态反应法在二维TMD晶体生长中的应用进行了展望。 展开更多
关键词 过渡金属二硫化合物 化学 助熔剂 固态反应
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低位错ZnSe单晶的生长 被引量:4
15
作者 张旭 李卫 +2 位作者 张力强 丁进 王坤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期385-387,共3页
采用化学气相输运法(CVT)在适合的温度和I2含量的条件下,生长出了25mm×3mm的ZnSe单晶,位错密度为6.5×103个/cm2。对ZnSe单晶进行光学性能分析,在10.6μm处的透过率超过70%,在10.6μm处的吸收系数为7.72×10-4/cm。
关键词 ZnSe单晶 化学 位错密度
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基于SnSe_(2.37)薄膜材料的高性能近红外光电探测器
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作者 祝新发 孟宪成 +5 位作者 刘哲 贺彪 段伟帅 孙春 王蒙军 范超 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第3期204-212,共9页
二维材料二硒化锡(SnSe_(2))具有高迁移率、高光吸收率和窄带隙的特点,被视为近红外(NIR)光电探测器的候选材料。然而SnSe_(2)在制备和生长的过程中会产生一定数量的硒空位,对SnSe_(2)近红外光电探测器的性能造成不利的影响。首先采用... 二维材料二硒化锡(SnSe_(2))具有高迁移率、高光吸收率和窄带隙的特点,被视为近红外(NIR)光电探测器的候选材料。然而SnSe_(2)在制备和生长的过程中会产生一定数量的硒空位,对SnSe_(2)近红外光电探测器的性能造成不利的影响。首先采用化学气相输运(CVT)法制备硒过量的二硒化锡(SnSe_(2.37))单晶,X射线光电子能谱(XPS)结果表明,Sn和Se的原子数比约为1∶2.37。然后通过机械剥离法从高品质的单晶上分离出横向尺寸为14μm×37μm且厚度为2 nm的SnSe_(2.37)薄膜材料。最后使用光刻图形转移法制备高性能的NIR光电探测器。经过测试,该NIR光电探测器对850 nm的近红外光表现出优异的光电探测性能,其中响应度可达2820 A·W^(-1),归一化探测率为1.02×10^(13)Jones,外量子效率为4.12×10^(5)%,响应时间为15 ms。 展开更多
关键词 二硒化锡(SnSe_(2)) 化学(cvt) 光刻图形转移 二维材料 近红外光电探测
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