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题名纳米光栅动静态校准工作台
被引量：1
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作者
张海波
匡也
唐杨超
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机构
黑龙江省计量检定测试研究院
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第4期465-470,共6页
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基金
国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2016QK051)
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文摘
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。
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关键词
计量学
纳米光栅校准
宏微运动控制
动静态校准
动力学建模
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Keywords
metrology
nanogratingr
macro/micro motion control
dynamic and static calibration
dynamic modeling
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名基于K型热电偶的瞬态测温技术的研究
被引量：40
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作者
吕鹏飞
裴东兴
沈大伟
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期775-780,共6页
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文摘
针对导弹环境瞬态温度测试系统的特定要求及现有存储测试系统存在的测试精度低、可靠性差、成本高等问题,本文论证并设计了基于K型热电偶的动态存储测试系统。文章介绍了系统组成,并对测试系统的可行性进行了论证,提出了热电偶动静态校准的关键技术。该技术为环境温度的测量提供了重要的保障,用实测的数据对系统进行动静态校准,分析得出相关结论。研究表明:该测试系统具有实际工程使用价值,可为分析导弹环境温度提供一种快速的、有效的、精确的测试手段。
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关键词
动态存储测试
瞬态测温
动静态校准
可行性
K型热电偶
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Keywords
dynamic storage test
transient thermometry
dynamic and static calibration
practicability
K-style ther-mocouple
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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