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高速原子力显微术研究进展
被引量：
3
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作者
赵剑勇
蔡微
商广义
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2013年第1期81-89,共9页
自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具。由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年...
自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具。由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注。本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展。
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关键词
原子力显微镜
高速原子力显微成像
动态过程观测
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职称材料
题名
高速原子力显微术研究进展
被引量：
3
1
作者
赵剑勇
蔡微
商广义
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室(筹)
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2013年第1期81-89,共9页
基金
科技部973课题(No.2013CB934004)
国家自然科学基金科学仪器基础研究专项(No.10827403)
文摘
自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具。由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注。本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展。
关键词
原子力显微镜
高速原子力显微成像
动态过程观测
Keywords
atomic force microscope（AFM）
high speed AFM imaging
dynamic process observation
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
高速原子力显微术研究进展
赵剑勇
蔡微
商广义
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2013
3
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