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真空计动态响应特性实验研究
被引量：
2
1
作者
习振华
李亚丽
+2 位作者
成永军
孙雯君
李得天
《真空与低温》
2020年第1期25-30,共6页
在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应...
在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性。分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数。并验证了该装置的校准能力。研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别。研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础。
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关键词
真空
计量
动态真空校准
响应时间
时间常数
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职称材料
题名
真空计动态响应特性实验研究
被引量：
2
1
作者
习振华
李亚丽
成永军
孙雯君
李得天
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2020年第1期25-30,共6页
基金
国家自然科学基金(61501212)
甘肃省科技重大专项计划(17ZD2WA001)
文摘
在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性。分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数。并验证了该装置的校准能力。研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别。研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础。
关键词
真空
计量
动态真空校准
响应时间
时间常数
Keywords
vacuum metrology
dynamic vacuum calibration
response time
time constant
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空计动态响应特性实验研究
习振华
李亚丽
成永军
孙雯君
李得天
《真空与低温》
2020
2
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