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高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
被引量：
6
1
作者
佘东生
王晓东
+1 位作者
张习文
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2494-2499,共6页
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用...
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。
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关键词
MEMS
测试
动态特性的测试
高温环境
微悬臂梁
激励装置
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职称材料
题名
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
被引量：
6
1
作者
佘东生
王晓东
张习文
王立鼎
机构
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2494-2499,共6页
基金
国家自然科学基金重点项目(50535030)
辽宁省自然科学基金(20062187)资助项目
文摘
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。
关键词
MEMS
测试
动态特性的测试
高温环境
微悬臂梁
激励装置
Keywords
MEMS measurement
dynamic testing
high temperature environment
micro-cantilever
excitation device
分类号
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
佘东生
王晓东
张习文
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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