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动态混合离子注入加热器表面降低CaSO_4污垢生成的研究被引量：1: 1; 作者任晓光李翠清 +1 位作者刘长厚赵起《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心 2001年第11期56-59,共4页; 为防止污垢在加热器表面上生成 ,对核状沸腾条件下CaSO4 污垢沉积过程在实验室进行了试验研究和理论分析。研究结果表明 ,经动态混合离子注入非晶碳的加热器表面可以有效地抑制CaSO4 在加热器表面上的生成 ,传热系数随时间的变化不大 ,... 展开更多; 关键词硫酸钙污垢加热器表面处理传热传热系数动态混合离子注入; 在线阅读下载PDF 职称材料

动态混合注入与沉积法制备TiN膜层: 2; 作者张华芳武洪臣 +2 位作者蒋艳莉马国佳彭丽平《航空制造技术》 2005年第3期88-91,共4页; 采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。; 关键词混合制备膜层沉积工艺成膜质量硅基体结合性能离子注入形貌划痕; 在线阅读下载PDF 职称材料

TiN膜离子注入与沉积工艺研究: 3; 作者 Huafang Zhang Hongchen Wu Yanli Jiang Guojia Ma Liping Peng 《航空制造技术》北大核心 2004年第z1期255-258,281,共5页; 采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层.用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌.对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著.; 关键词动态混合离子注入沉积 TIN膜纳米划痕结合性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室: 4; 作者范湘军郭怀喜 +2 位作者刘昌王叔琪余全华《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第5期293-296,共4页; 在200keV离子注入机上设计和建造了一个多功能靶室,它装有:(1)四源真空蒸发沉积系统;(2)石英晶体膜厚计;(3)高低温度温靶;(4)“原位”四探针电阻测量系统。用本装置制备了离子束混合非晶态Al-Mn合金薄膜,并“原位”测量了薄膜的电特性。; 关键词离子束混合靶室蒸发沉积电阻测量非晶态合金石英晶体离子注入机电特性蒸镀瓦瓶; 在线阅读下载PDF 职称材料

大面积强流直流离子源: 5; 作者余增亮何建军 +2 位作者周骏邓建国胡纯栋《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第6期379-382,共4页; 为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA,氩为150mA,能量达到50keV。源等离子体如同ORNL一样由热阴极... 展开更多; 关键词离子源强流离子束动态混合热阴极等离子体物理均匀性引出电极反射型沉积技术三电; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态混合离子注入加热器表面降低CaSO_4污垢生成的研究被引量：1: 1; 作者任晓光李翠清刘长厚赵起; 机构北京石油化工学院材料与化工系大连理工大学化工学院萨瑞大学化工系; 出处《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心 2001年第11期56-59,共4页; 基金北京市教委科技资助项目; 文摘为防止污垢在加热器表面上生成 ,对核状沸腾条件下CaSO4 污垢沉积过程在实验室进行了试验研究和理论分析。研究结果表明 ,经动态混合离子注入非晶碳的加热器表面可以有效地抑制CaSO4 在加热器表面上的生成 ,传热系数随时间的变化不大 ,它与未处理表面相比 ,在 10 0～30 0kW /m2 的热通量范围内 ,传热系数是未处理表面的 2 .5倍左右 ;热通量的增加并不改变传热的趋势 ,而只对传热系数的值有影响。; 关键词硫酸钙污垢加热器表面处理传热传热系数动态混合离子注入; Keywords calcium sulfate fouling heater surface treatment heat transfer heat transfer coefficient; 分类号 TQ086 [化学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态混合注入与沉积法制备TiN膜层: 2; 作者张华芳武洪臣蒋艳莉马国佳彭丽平; 机构北京航空制造工程研究所; 出处《航空制造技术》 2005年第3期88-91,共4页; 文摘采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。; 关键词混合制备膜层沉积工艺成膜质量硅基体结合性能离子注入形貌划痕; Keywords Dynamic hybrid ion implantation de- posion TiN film Nanometer scratch Combination performance; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名TiN膜离子注入与沉积工艺研究: 3; 作者 Huafang Zhang Hongchen Wu Yanli Jiang Guojia Ma Liping Peng; 出处《航空制造技术》北大核心 2004年第z1期255-258,281,共5页; 文摘采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层.用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌.对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著.; 关键词动态混合离子注入沉积 TIN膜纳米划痕结合性能; 分类号 V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室: 4; 作者范湘军郭怀喜刘昌王叔琪余全华; 机构武汉大学离子束物理实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第5期293-296,共4页; 基金国家自然科学基金; 文摘在200keV离子注入机上设计和建造了一个多功能靶室,它装有:(1)四源真空蒸发沉积系统;(2)石英晶体膜厚计;(3)高低温度温靶;(4)“原位”四探针电阻测量系统。用本装置制备了离子束混合非晶态Al-Mn合金薄膜,并“原位”测量了薄膜的电特性。; 关键词离子束混合靶室蒸发沉积电阻测量非晶态合金石英晶体离子注入机电特性蒸镀瓦瓶; 分类号 TB7-55 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大面积强流直流离子源: 5; 作者余增亮何建军周骏邓建国胡纯栋; 机构中国科学院等离子体物理所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第6期379-382,共4页; 文摘为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA,氩为150mA,能量达到50keV。源等离子体如同ORNL一样由热阴极反射型弧放电形成,但中间电极几何尺寸与ORNL有较大的不同。引出系统由加-减速栅组成,19个孔径为6mm的孔在三电极上六边形排列。引出面直径为6cm,在距引出栅2m处直径为25cm的靶上测得束的均匀性约90%。; 关键词离子源强流离子束动态混合热阴极等离子体物理均匀性引出电极反射型沉积技术三电; 分类号 TB7-55 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	动态混合离子注入加热器表面降低CaSO_4污垢生成的研究	任晓光李翠清刘长厚赵起	《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心	2001	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	动态混合注入与沉积法制备TiN膜层	张华芳武洪臣蒋艳莉马国佳彭丽平	《航空制造技术》	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	TiN膜离子注入与沉积工艺研究	Huafang Zhang Hongchen Wu Yanli Jiang Guojia Ma Liping Peng	《航空制造技术》北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室	范湘军郭怀喜刘昌王叔琪余全华	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD	1989	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	大面积强流直流离子源	余增亮何建军周骏邓建国胡纯栋	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD	1989	0	在线阅读下载PDF 职称材料