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一种精确的压电双晶片参数动态测试模型和方法
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作者 叶会英 禹延光 浦昭邦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第3期211-215,共5页
本文根据悬臂梁式压电双晶片的动态导纳矩阵 ,设计了一种器件参数动态测试模型 ,用于测量压电双晶片的几个主要参数 :压电常数d31 、机电耦合系数k31 、介电常数εT33、弹性顺度常数sE1 1 和等效电容等。文中详细叙述了测试模型的建立... 本文根据悬臂梁式压电双晶片的动态导纳矩阵 ,设计了一种器件参数动态测试模型 ,用于测量压电双晶片的几个主要参数 :压电常数d31 、机电耦合系数k31 、介电常数εT33、弹性顺度常数sE1 1 和等效电容等。文中详细叙述了测试模型的建立和测试步骤 ,并提供了一种实际试样的测试结果。理论与实验表明 ,这种新的动态测试方法是精确。 展开更多
关键词 压电双晶片 压电参数 动态测试模型 测试精度 压电元件
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