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质谱测量与分析系统的性能测试
被引量：
2
1
作者
曹曾
黄向玫
+4 位作者
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期135-140,共6页
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果...
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求,为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。
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关键词
极限真空
漏气率
线性关系
动态流导法
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职称材料
微型溅射离子泵性能测试
被引量：
7
2
作者
梅国强
齐京
+1 位作者
陈旭
朱秀珍
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期449-453,共5页
本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源。实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据。
关键词
微型溅射离子泵
性能测试
动态流导法
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职称材料
空心玻璃微珠内部残余气体分析
被引量：
2
3
作者
常仁超
毕海林
+2 位作者
吴俊
王旭迪
彭小波
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期31-36,共6页
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样...
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构。基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式。采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析。对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性。结果表明,取样机构可以获得40%以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO_(2)、N_(2)、CO、CO_(2)和O_(2)。
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关键词
空心玻璃微珠
静态升压
法
动态流导法
残余气体分析
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职称材料
题名
质谱测量与分析系统的性能测试
被引量：
2
1
作者
曹曾
黄向玫
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
机构
核工业西南物理研究院
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期135-140,共6页
基金
国家磁约束核聚变能研究专项(2010GB108002)
文摘
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求,为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。
关键词
极限真空
漏气率
线性关系
动态流导法
Keywords
Ultimate vacuum
Leak rate
Linear dependence
Dynamic flow conductance
分类号
TL628 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
微型溅射离子泵性能测试
被引量：
7
2
作者
梅国强
齐京
陈旭
朱秀珍
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期449-453,共5页
文摘
本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源。实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据。
关键词
微型溅射离子泵
性能测试
动态流导法
Keywords
Miniature sputtering ion pump, Experimental evaluation, Orifice flow dynamic method
分类号
TN1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
空心玻璃微珠内部残余气体分析
被引量：
2
3
作者
常仁超
毕海林
吴俊
王旭迪
彭小波
机构
合肥工业大学机械工程学院
安徽凯盛基础材料科技有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期31-36,共6页
基金
装备研发重点实验室项目(6142806200404)。
文摘
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构。基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式。采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析。对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性。结果表明,取样机构可以获得40%以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO_(2)、N_(2)、CO、CO_(2)和O_(2)。
关键词
空心玻璃微珠
静态升压
法
动态流导法
残余气体分析
Keywords
Hollow glass microspheres
The pressure rise method
The throughput method
Residual gas analysis
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
质谱测量与分析系统的性能测试
曹曾
黄向玫
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微型溅射离子泵性能测试
梅国强
齐京
陈旭
朱秀珍
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
空心玻璃微珠内部残余气体分析
常仁超
毕海林
吴俊
王旭迪
彭小波
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
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