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题名多重入晶圆制造系统动态投料策略研究
被引量：2
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作者
郭永辉
邵志芳
钱省三
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机构
郑州航空工业管理学院工业工程系
同济大学经济管理学院
上海理工大学微电子发展研究中心
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期645-649,665,共6页
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基金
高校博士点基金项目(20050252008)
上海市重点学科资助项目(T0502)
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文摘
为克服传统投料策略的缺点,满足晶圆厂追求多个生产指标的需求,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定义。在全局性信息确定方面,将黄光区作为瓶颈区域,炉管区与离子注入区作为次瓶颈区域分别加以控制。从稳定系统负荷和保证系统产出两个目的着手,提出了负荷平衡投料策略(RRLB),给出了相应地公式与算法。进一步的仿真实验验证了该策略的有效性。
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关键词
多重入
动态投料策略
生产线平衡
晶圆
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Keywords
multiple re-entrant
dynamic release policy
line balancing
wafer
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分类号
TP278
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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