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金属等离子体浸没动态离子束增强沉积 被引量:1
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作者 张涛 侯君达 +4 位作者 张孝吉 张荟星 朱剑豪 田修波 曾照明 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期329-331,共3页
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统 ,对 30 4L不锈钢进行金属等离子体浸没动态离子束增强沉积处理 .对试样予以电化学测试和AES分析 .动态增强沉积试样比非增强沉... 采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统 ,对 30 4L不锈钢进行金属等离子体浸没动态离子束增强沉积处理 .对试样予以电化学测试和AES分析 .动态增强沉积试样比非增强沉积试样有更强的抗电化学腐蚀能力 . 展开更多
关键词 动态增强沉积 等离子体浸没 表面改性 薄膜
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