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基于原子力显微镜(AFM)的微小结构加工工艺研究 被引量:2
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作者 孙涛 闫永达 +3 位作者 夏加飞 梁迎春 程凯 董申 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期154-158,共5页
为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工... 为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工工具。根据AFM在线成像后的结果对该工艺过程中各种因素产生的影响进行了研究、分析和说明 ,得出主要参数优选的一般方法 ,讨论了与其他微机械加工方法相比较采用该方法的优缺点和可行性。应用该系统进行了微结构的加工实验 ,实验结果表明该系统能够实现较高尺寸精度和重复性精度的微结构的加工 。 展开更多
关键词 原子力显微镜 afm 微小结构加工工艺 微加速度传感器 MEMS 半导体加工
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提高原子力显微镜(AFM)成像质量的方法 被引量:2
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作者 冯璐 《大学物理实验》 2009年第2期1-4,共4页
针对原子力显微镜AFM不要求样品具有导电性的优点,分析了影响原子力显微镜AFM扫描图像质量的原因及提高AFM成像质量的方法。
关键词 原子力显微镜(afm) 图像质量
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原子力显微镜AFM 被引量:3
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作者 王更新 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期38-40,共3页
一、AFM的发展 世界最新型原子力显微镜AFM(Atomic Force Micro-scope)是1986年由电子扫描隧道显微镜STM(ScamningTunneling Microscope)的发明者Binning试制成功的,1990年完成了实用化装置并开始投放市场,目前AFM在世界上的普及速度大... 一、AFM的发展 世界最新型原子力显微镜AFM(Atomic Force Micro-scope)是1986年由电子扫描隧道显微镜STM(ScamningTunneling Microscope)的发明者Binning试制成功的,1990年完成了实用化装置并开始投放市场,目前AFM在世界上的普及速度大大超过了STM。 其理由是STM不能测定绝缘材料,而AFM不但具有与STM同等高的分辨能力,还能直接测定包括绝缘材料在内的各种物质。由于STM能够逐个地识别原子,所以作为显微镜来说是划时代的,但是不能直接测定绝缘物质是它的最大缺点。使用STM测定绝缘物质时。 展开更多
关键词 afm 原子力显微镜 显微镜
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原子力显微镜表征土壤中的纳米胶体 被引量:6
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作者 汤志云 陈旸 +3 位作者 Guodong Yuan 吴龙华 章海波 骆永明 《土壤学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期840-850,共11页
以平均粒径和多分散性指数为参数、采用原子力显微镜(AFM)表征了不同地区三种土壤纳米胶体的粒径与形貌,研究了pH及重金属离子对纳米胶体粒径和形貌的影响。结果表明,江苏九华(JH-4)土壤纳米胶体主要为形状规则的黏土矿物粒子,并部分被... 以平均粒径和多分散性指数为参数、采用原子力显微镜(AFM)表征了不同地区三种土壤纳米胶体的粒径与形貌,研究了pH及重金属离子对纳米胶体粒径和形貌的影响。结果表明,江苏九华(JH-4)土壤纳米胶体主要为形状规则的黏土矿物粒子,并部分被有机质包裹或覆盖,平均粒径为21.5nm(n=98),多分散性程度高(PI=1.9);浙江富阳(FY-1)土壤纳米胶体主要是无规则形状的有机质包裹的粒子,平均粒径为20.3nm(n=133),多分散性程度高(PI=2.0);江西德兴(DX-9)土壤纳米胶体主要是球状或近球状的无机粒子,平均粒径为56.3nm(n=147),多分散性程度较低(PI=1.3)。pH及重金属铜离子的存在对纳米胶体粒径和形貌会产生或分散或团聚的影响,这种影响可能与土壤纳米胶体的电荷性质、有机质含量等因素有关,形貌变化较为复杂。这种复杂性对理解和研究胶体在环境过程中的行为具有指导意义。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 土壤 纳米胶体 形貌
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TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究 被引量:7
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作者 俞春福 徐久军 +2 位作者 王亮 许晓磊 黑祖昆 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2001年第12期14-15,共2页
用离子束增强沉积 (IBED)技术在 1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜 ,并用电化学原子力显微镜 (ECAFM) ,从纳米级空间分辨度对其在 3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究。结果表明 ,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还... 用离子束增强沉积 (IBED)技术在 1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜 ,并用电化学原子力显微镜 (ECAFM) ,从纳米级空间分辨度对其在 3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究。结果表明 ,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解 ;在低阳极极化电位下 ,发生轻微腐蚀 ,当阳极极化电位进一步提高 ,在 2 0 0~ 30 0mV出现电解抛光现象。可见 ,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段 。 展开更多
关键词 TIN薄膜 腐蚀过程 电化学原子力显微镜 原位观察 afm 耐蚀
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基于DSP的高速原子力显微镜系统 被引量:7
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作者 李敏 韩立 +2 位作者 林云生 左燕生 方光荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第1期40-43,共4页
传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进... 传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进针/退针、扫描电压的产生、A/D采样、D/A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成;在分辨率为512×512时,可以获得行频55 Hz的扫描速度。实验表明,即便在这样高速扫描的情况下,该系统仍具有良好的成像性能。 展开更多
关键词 高速原子力显微镜 afm DSP
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基于原子力显微镜AFM沥青制样方法比选
7
作者 胡长涛 解常波 王志军 《山东交通科技》 2022年第6期42-45,共4页
对某基质沥青样品采用3种制样方法(溶剂法、酒精灯法、烘箱法)进行试验分析,以相位分析和黏附力作为评价参数,对基于原子力显微镜AFM沥青制样方法进行比选。试验结果表明:溶剂法制样对沥青分子结构具有破坏作用,对定性分析沥青物质组成... 对某基质沥青样品采用3种制样方法(溶剂法、酒精灯法、烘箱法)进行试验分析,以相位分析和黏附力作为评价参数,对基于原子力显微镜AFM沥青制样方法进行比选。试验结果表明:溶剂法制样对沥青分子结构具有破坏作用,对定性分析沥青物质组成有影响;酒精灯法制样温度不易控制、样品易老化且平行性差,试验结果误差较大;烘箱法制样对沥青原有结构、老化影响最小,可作为推荐的沥青制备方法。 展开更多
关键词 道路工程 原子力显微镜afm 制样方法 微观分析 评价参数
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原子力显微镜在生物力测量中的应用 被引量:6
8
作者 王艳霞 李艳宁 +2 位作者 傅星 李正光 胡小唐 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期228-230,共3页
利用原子力显微镜 (AFM )能够实现生物分子间作用力直接测量。本文讨论了利用AFM测量配体 受体之间的相互作用力、细胞粘着力、核酸双链和碱基对氢键间的作用力、运动蛋白之间的作用力。
关键词 原子力显微镜 生物力测量 afm 细胞粘着力 核酸双链
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用原子力显微镜观察HMX基炸药老化前后的表面形貌变化 被引量:4
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作者 程克梅 何芳 +1 位作者 夏云霞 左玉芬 《含能材料》 EI CAS CSCD 2005年第B12期30-35,共6页
用原子力显微镜(AFM)观察了不同老化条件下HMX基炸药的表面形貌变化。结果显示,老化后表面形貌有细微的变化,与高分子材料接触老化的样品特别明显,可见炸药颗粒长大、粘结剂-炸药界面模糊或消失等现象。对比自然老化、等温老化等... 用原子力显微镜(AFM)观察了不同老化条件下HMX基炸药的表面形貌变化。结果显示,老化后表面形貌有细微的变化,与高分子材料接触老化的样品特别明显,可见炸药颗粒长大、粘结剂-炸药界面模糊或消失等现象。对比自然老化、等温老化等样品的表面形貌,讨论了形貌变化的原因,推测了库存老化过程中可能发生的变化。 展开更多
关键词 物理化学 原子力显微镜(afm) HMX基炸药 表面形貌 老化
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原子力显微镜对生理溶液中活细胞成像条件的研究 被引量:5
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作者 王莉娟 张英鸽 +1 位作者 张飒 张德添 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第1期79-84,共6页
本文研究用原子力显微技术(AFM)在生理条件下对活细胞成像的基本方法,并对各种影响成像因素如针尖与细胞表面的非特异性相互作用、AFM悬臂弹性系数及细胞表面柔性等问题提供相应的解决方案。从而为AFM在成像的基础上对活细胞其它性质的... 本文研究用原子力显微技术(AFM)在生理条件下对活细胞成像的基本方法,并对各种影响成像因素如针尖与细胞表面的非特异性相互作用、AFM悬臂弹性系数及细胞表面柔性等问题提供相应的解决方案。从而为AFM在成像的基础上对活细胞其它性质的研究提供基础。用本文方法清晰地显示了固定细胞与活细胞膜表面所具有的明显差别:活细胞膜完整平滑,固定细胞表面粗糙,边缘不整。 展开更多
关键词 细胞表面 活细胞 成像条件 固定 非特异性 生理 平滑 原子力显微技术 afm 原子力显微镜
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原子力显微镜对胶原各级结构和聚集形态的观测 被引量:7
11
作者 魏香奕 张文华 石碧 《皮革科学与工程》 CAS 北大核心 2013年第6期5-11,共7页
使用原子力显微镜(AFM)观测了胶原各级结构及典型体外聚集形态,对用AFM研究胶原的适用范围、优点和不足进行了系统的概括,并对制样方法和检测条件进行了探讨。AFM能观测到胶原分子的形态,也能用于检测和表征胶原的超分子聚集体—... 使用原子力显微镜(AFM)观测了胶原各级结构及典型体外聚集形态,对用AFM研究胶原的适用范围、优点和不足进行了系统的概括,并对制样方法和检测条件进行了探讨。AFM能观测到胶原分子的形态,也能用于检测和表征胶原的超分子聚集体——胶原原纤维,其周期横纹清晰可见,还能检测到由原纤维组装而成的直径为1-2肌m的胶原纤维。AFM在用于研究胶原其它体外聚集形态时,也得到了很好的结果。虽然AFM的应用存在一些局限性,如对样品的表面平整度要求较高、扫描范围的缩放不够灵活,但其具有制样手段方便快捷、分辨率高等优势,使其有望在胶原及其它生物大分子的研究中发挥重要的作用。 展开更多
关键词 原子力显微镜 afm 胶原 胶原原纤维 胶原纤维 聚集 制革
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原子力显微镜测量心肌细胞杨氏模量的研究现状 被引量:6
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作者 朱烨 张宇辉 陈明 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期93-97,共5页
自原子力显微镜面世以来,已越来越广泛地被应用于各个领域的研究,尤其在细胞的微观领域有其独特的优势与价值。文中评述了近些年利用其测量表征细胞弹性的杨氏模量的方法和进展,并着重论述杨氏模量在心血管疾病中的应用研究。心肌细胞... 自原子力显微镜面世以来,已越来越广泛地被应用于各个领域的研究,尤其在细胞的微观领域有其独特的优势与价值。文中评述了近些年利用其测量表征细胞弹性的杨氏模量的方法和进展,并着重论述杨氏模量在心血管疾病中的应用研究。心肌细胞的杨氏模量不仅呈现随年龄的增长而增大的趋势,且与心血管的疾病有明显的相关关系。因此,测量心肌细胞的杨氏模量可以研究病变心肌细胞的物理改变,有助于了解心脏疾病,尤其是心衰及心梗的病理变化。 展开更多
关键词 杨氏模量 原子力显微镜 心肌细胞 力学特性 分子生物学 ATOMIC force-fluorescence MICROSCOPY (afm)
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原子力显微镜探针批量制备工艺分析 被引量:5
13
作者 李加东 苗斌 +1 位作者 张轲 吴东岷 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第2期119-123,共5页
为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原... 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 探针 绝缘衬底上的硅(SOI) 自锐式 曲率半径
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原子力显微镜技术在细胞研究中的进展 被引量:3
14
作者 刘波 马立 +1 位作者 谢炜 张志伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期248-254,共7页
原子力显微镜(AFM)是生物显微技术的一个重要组成部分,可实现液体环境下活细胞高分辨率的成像与操作,为细胞生物学研究提供了新的方法。近年来,AFM已经逐渐发展成为集样品成像、力测量及操作等功能于一体的多功能生物细胞研究平台,在细... 原子力显微镜(AFM)是生物显微技术的一个重要组成部分,可实现液体环境下活细胞高分辨率的成像与操作,为细胞生物学研究提供了新的方法。近年来,AFM已经逐渐发展成为集样品成像、力测量及操作等功能于一体的多功能生物细胞研究平台,在细胞研究中得到了广泛的应用。在简要介绍AFM组成与工作原理的基础上,详细阐述了近年来基于AFM成像与力谱技术的细胞研究的发展状况。针对AFM本身所存在的不足,介绍了AFM与其他技术相结合的研究成果,并对AFM在生物细胞研究中未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 细胞结构 力曲线 超微结构 生物力学
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原子力显微镜对细胞色素C分子结构的形态研究 被引量:4
15
作者 阮湘元 谭琰 陈小明 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期34-37,共4页
用原子力显微镜(AFM)对不同浓度下细胞色素C的分子形态,以及加入蛋白质降聚和变性剂脲后的形态变化进行了考察。实验结果显示,在50μmol/L的低浓度溶液中细胞色素C分子主要以直径为3nm的类球形单体形式存在。浓度增大,细胞色素C分子发... 用原子力显微镜(AFM)对不同浓度下细胞色素C的分子形态,以及加入蛋白质降聚和变性剂脲后的形态变化进行了考察。实验结果显示,在50μmol/L的低浓度溶液中细胞色素C分子主要以直径为3nm的类球形单体形式存在。浓度增大,细胞色素C分子发生聚集,且随着浓度的进一步增大,细胞色素C分子倾向于形成更大的聚集体。浓度为200μmol/L时,聚集体分子间相互缠绕,形成链状结构。浓度低于0.8mol/L的脲的加入基本不影响细胞色素C分子的形态。加入较高浓度的脲,细胞色素C聚集体的聚集数降低,聚集体分子间没有明显的链状结构。 展开更多
关键词 细胞色素C 原子力显微镜(afm) 分子形态
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原子力显微镜对不同条件下果胶微粒的表面形态学观察 被引量:7
16
作者 郑洁 蔡继业 +2 位作者 欧仕益 夏科 陈勇 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期501-501,共1页
关键词 原子力显微镜 D-半乳糖醛酸残基经α 酸性大分子多糖 半乳糖醛酸C6 酯化度 DE值 高甲酯果胶 低甲酯果胶 稳定作用 afm 表面形态
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碳纳米管原子力显微镜针尖的研究(英文) 被引量:2
17
作者 国立秋 赵铁强 +3 位作者 徐宗伟 赵清亮 张飞虎 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期259-262,共4页
本文研究了制作碳纳米管原子力显微镜针尖的方法和过程。在光学显微镜下 ,通过两个微工作台操纵将纯化后的多壁碳纳米管粘结在传统的原子力显微镜的Si针尖上。运用电蚀的方法优化碳管针尖的长度使其达到高分辨率的要求。我们运用制作的... 本文研究了制作碳纳米管原子力显微镜针尖的方法和过程。在光学显微镜下 ,通过两个微工作台操纵将纯化后的多壁碳纳米管粘结在传统的原子力显微镜的Si针尖上。运用电蚀的方法优化碳管针尖的长度使其达到高分辨率的要求。我们运用制作的碳纳米管针尖在敲击模式下对G型免疫球蛋白进行扫描成像 ,结果显示了其典型的Y形结构 。 展开更多
关键词 碳纳米管 原子力显微镜 针尖 电蚀法 分辨率 扫描成像 afm
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利用原子力显微镜探测人正常与慢性淋巴白血病外周血B淋巴细胞 被引量:2
18
作者 王秋兰 卢育洪 +2 位作者 李盛璞 龚超群 蔡继业 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1005-1010,共6页
采用Ficoll密度梯度离心法得到人外周血单个核细胞(PBMC),并结合磁珠分选的方法进一步纯化得到正常B淋巴细胞,探索了正常和肿瘤B淋巴细胞之间的差异。通过应用具有高分辨率的原子力显微镜(AFM)对正常人和慢性淋巴白血病人外周血B淋巴细... 采用Ficoll密度梯度离心法得到人外周血单个核细胞(PBMC),并结合磁珠分选的方法进一步纯化得到正常B淋巴细胞,探索了正常和肿瘤B淋巴细胞之间的差异。通过应用具有高分辨率的原子力显微镜(AFM)对正常人和慢性淋巴白血病人外周血B淋巴细胞进行成像,并对这两种B淋巴细胞的高度、直径、体积及膜表面的颗粒平均高度、平均粗糙度和颗粒分布进行测量,对比观察两组细胞膜表面宏观和纳米结构的变化。结果表明,慢性淋巴白血病B淋巴细胞比正常的B淋巴细胞高大,细胞膜表面颗粒更大且细胞膜粗糙。此外,对这两组淋巴细胞进行了机械性质方面的测量和统计,结果发现慢性淋巴白血病B淋巴细胞粘附力(524.1±160.0)pN比正常B淋巴细胞粘附力(1091±260)pN约小1倍,且癌变的B淋巴细胞硬度明显比正常的小。当正常细胞癌变时,细胞的形貌、超微结构及骨架会发生一定的改变。实验证明应用AFM可在形态学和机械性质上明显区别正常和慢性淋巴白血病B淋巴细胞,为临床诊断慢性淋巴白血病提供新的技术手段。 展开更多
关键词 慢性淋巴白血病 B淋巴细胞 形貌 原子力显微镜(afm)
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麦冬多糖POJ-U1a的结构研究及原子力显微镜观测 被引量:2
19
作者 王小梅 孙润广 +1 位作者 薛慧君 韩涛 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期81-83,87,共4页
用功率超声从麦冬中提取麦冬多糖POJ-U1,通过DEAE-52 cellulose色谱柱和Sephadex G-150凝胶色谱柱进行分离纯化得到POJ-U1a,采用高效凝胶渗透色谱法测定其分子量,采用红外光谱法、气相色谱法对其化学结构进行研究,原子力显微镜观察其微... 用功率超声从麦冬中提取麦冬多糖POJ-U1,通过DEAE-52 cellulose色谱柱和Sephadex G-150凝胶色谱柱进行分离纯化得到POJ-U1a,采用高效凝胶渗透色谱法测定其分子量,采用红外光谱法、气相色谱法对其化学结构进行研究,原子力显微镜观察其微观形貌。结果表明,麦冬多糖POJ-U1a的平均分子量为4.02×103D,是一种由均一葡萄糖组成的葡聚糖,具有糖类物质的特征吸收峰,同时存在呋喃环,是具有高度分枝的化学结构的多糖。 展开更多
关键词 麦冬多糖 结构分析 原子力显微镜(afm)
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用原子力显微镜研究磷脂酸Langmuir-Blodgett双层膜中超分子结构 被引量:1
20
作者 袁春波 丁德胜 +2 位作者 顾宁 陆祖宏 刘举正 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期791-794,共4页
用原子力显微镜研究了二棕榈酰磷脂酸(DPPA)双层LB膜的分子排列结构,发现DPPA双层膜的分子排列具有长程的位置和取向有序,为有序六方结构;同时,在DPPA双层膜的极性区磷酸基团间存在局域超分子结构.
关键词 超分子 磷脂酸 原子力显微镜 LB膜 afm DPPA
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