-
题名蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
- 1
-
-
作者
姜晓龙
窦雁巍
程振乾
孙志强
毕佳宇
邵志强
-
机构
黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室黑龙江大学
中国电子科技集团公司第四十九研究所
-
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期124-127,共4页
-
文摘
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台,在室温环境下对传感器执行了10Hz~1kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明,在10Hz~1kHz频率范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%,传感器的固有频率为430kHz。
-
关键词
动态压力传感器
湿法腐蚀
直接键合
自补偿解调方法
-
Keywords
dynamic pressure sensor
wet etching
direct bonding
self compensation demodulation method
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量
被引量：6
- 2
-
-
作者
郭宏
王冰
庄家局
王文襄
-
机构
天津大学
昆山双桥传感器测控技术有限公司
-
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第9期1-2,5,共3页
-
文摘
阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。
-
关键词
高频动态压力传感器
冲击波超压
齐平封装
固有频率
MEMS
-
Keywords
high frequency dynamic pressure sensor
shock wave superpressure
fiat package
natural frequency
MEMS
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
