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MEMS微电容式传感器的传感特性研究
被引量：
14
1
作者
王庆敏
杨要恩
+1 位作者
苏木标
刘玉红
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1396-1400,共5页
针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟...
针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好。
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关键词
MEMS
传
感
器
静态
传
感
特性
动态传感特性
线性度
灵敏度
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职称材料
题名
MEMS微电容式传感器的传感特性研究
被引量：
14
1
作者
王庆敏
杨要恩
苏木标
刘玉红
机构
石家庄铁道学院
石家庄铁路工程职业技术学院机电系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1396-1400,共5页
基金
铁道部攻关项目资助(2007G028)
河北省攻关项目资助(08963523D)
文摘
针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好。
关键词
MEMS
传
感
器
静态
传
感
特性
动态传感特性
线性度
灵敏度
Keywords
MEMS sensor
static sensing characteristics
dynamic sensing characteristics
linearity
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS微电容式传感器的传感特性研究
王庆敏
杨要恩
苏木标
刘玉红
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
14
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