期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜的条件（英文）
1
作者
李朋
杨振雄
赵虎
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期364-370,共7页
应用一套新的动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜,铜原子随机生长在平方(100)同质晶格上。生长包括几个基本的过程:沉积,表面扩散,原子吸附,原子对成核,岛状生长等。薄膜的生长质量被诸如表面熵的一些参数所描述,表面熵是类...
应用一套新的动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜,铜原子随机生长在平方(100)同质晶格上。生长包括几个基本的过程:沉积,表面扩散,原子吸附,原子对成核,岛状生长等。薄膜的生长质量被诸如表面熵的一些参数所描述,表面熵是类比信息熵在通信领域的应用所提出的一个新的概念。发现低温和较低的覆盖层数往往伴随着粗糙的膜的表面,直到达到临界温度后不再变化,这些结论和实验的结果相一致。改变了传统的对薄膜粗糙度的定义,同时发现仅仅用粗糙度这个参数描述薄膜表面粗糙情况是不恰当的。最后对比结果解释了提出表面熵这个新概念的合理性。
展开更多
关键词
薄膜光学
动力学蒙特卡洛方法
生长模拟
表面粗糙度
表面熵
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜的条件（英文）
1
作者
李朋
杨振雄
赵虎
机构
北京师范大学物理学系
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期364-370,共7页
文摘
应用一套新的动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜,铜原子随机生长在平方(100)同质晶格上。生长包括几个基本的过程:沉积,表面扩散,原子吸附,原子对成核,岛状生长等。薄膜的生长质量被诸如表面熵的一些参数所描述,表面熵是类比信息熵在通信领域的应用所提出的一个新的概念。发现低温和较低的覆盖层数往往伴随着粗糙的膜的表面,直到达到临界温度后不再变化,这些结论和实验的结果相一致。改变了传统的对薄膜粗糙度的定义,同时发现仅仅用粗糙度这个参数描述薄膜表面粗糙情况是不恰当的。最后对比结果解释了提出表面熵这个新概念的合理性。
关键词
薄膜光学
动力学蒙特卡洛方法
生长模拟
表面粗糙度
表面熵
Keywords
thin films optics
kinetic Monte Carlo method
growth simulation
surface roughness
surface entropy
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜的条件（英文）
李朋
杨振雄
赵虎
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
