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力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
1
作者
袁慧珠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第4期19-23,共5页
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的...
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的蜗轮蜗杆的设计计算以及工作台Z向移动的设计计算等。
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关键词
力敏器件
测试装置
加载工作台
设计
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职称材料
题名
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
1
作者
袁慧珠
机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第4期19-23,共5页
文摘
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的蜗轮蜗杆的设计计算以及工作台Z向移动的设计计算等。
关键词
力敏器件
测试装置
加载工作台
设计
Keywords
Loading, Angle Indexing, θ Movement, Z Movement.
分类号
TN379 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
袁慧珠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996
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职称材料
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