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静电驱动微梁的节点分析法
被引量：
6
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作者
李敏
黄庆安
李伟华
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1364-1367,共4页
采用加权残余法建立了静电驱动梁单元的节点法模型,在HSPICE中构建了相应的等效电路模型。以静电驱动的双端固支梁为例用ANSYS模拟软件对模型进行了验证,结果表明模型具有较高的精度。
关键词
静电驱动梁
节点
法
加权残余法
等效电路
MEMS
在线阅读
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职称材料
题名
静电驱动微梁的节点分析法
被引量：
6
1
作者
李敏
黄庆安
李伟华
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1364-1367,共4页
文摘
采用加权残余法建立了静电驱动梁单元的节点法模型,在HSPICE中构建了相应的等效电路模型。以静电驱动的双端固支梁为例用ANSYS模拟软件对模型进行了验证,结果表明模型具有较高的精度。
关键词
静电驱动梁
节点
法
加权残余法
等效电路
MEMS
Keywords
electrically actuated microbeam
nodal analysis method
weighted residual method
equivalent circuit
MEMS
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
静电驱动微梁的节点分析法
李敏
黄庆安
李伟华
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
6
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