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总剂量辐照加固的功率VDMOS器件
被引量:
12
1
作者
李泽宏
张磊
谭开洲
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期621-623,共3页
采用先形成P-body区再生长栅氧化层的新工艺流程和薄栅氧化层配合Si3N4-SiO2钝化层加固工艺,研制出一种抗总剂量辐照加固功率VDMOS器件。给出了该器件的常态参数和总剂量辐照的实验数据,通过和二维数值仿真比较,表明实验数据和仿真数据...
采用先形成P-body区再生长栅氧化层的新工艺流程和薄栅氧化层配合Si3N4-SiO2钝化层加固工艺,研制出一种抗总剂量辐照加固功率VDMOS器件。给出了该器件的常态参数和总剂量辐照的实验数据,通过和二维数值仿真比较,表明实验数据和仿真数据能较好吻合。对研制的功率VDMOS器件在X射线模拟源辐照总剂量972×103rad(Si)下,阈值电压仅漂移?1V。结果证明,工艺改善了功率VDMOS器件的抗总剂量辐照能力。
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关键词
功率vdmos器件
薄栅氧化层
阈值电压漂移
总剂量辐照
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职称材料
用虚拟制造设计低压功率VDMOS
被引量:
3
2
作者
夏宇
王纪民
蒋志
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期72-74,77,共4页
采用虚拟制造方法设计了低压功率VDMOS器件,并对其进行结构参数、物理参数和电性能参数的模拟测试,确定了器件的物理结构。通过对这些参数和电学特性的分析,进一步优化设计,最终获得了满意的设计参数和性能。
关键词
虚拟制造
低压
功率vdmos器件
结构参数
物理参数
电性能参数
电学特性
优化设计
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职称材料
题名
总剂量辐照加固的功率VDMOS器件
被引量:
12
1
作者
李泽宏
张磊
谭开洲
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
中国电子科技集团公司第二十四研究所
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期621-623,共3页
基金
国防科技重点实验室基金项目(9140C904010606)
文摘
采用先形成P-body区再生长栅氧化层的新工艺流程和薄栅氧化层配合Si3N4-SiO2钝化层加固工艺,研制出一种抗总剂量辐照加固功率VDMOS器件。给出了该器件的常态参数和总剂量辐照的实验数据,通过和二维数值仿真比较,表明实验数据和仿真数据能较好吻合。对研制的功率VDMOS器件在X射线模拟源辐照总剂量972×103rad(Si)下,阈值电压仅漂移?1V。结果证明,工艺改善了功率VDMOS器件的抗总剂量辐照能力。
关键词
功率vdmos器件
薄栅氧化层
阈值电压漂移
总剂量辐照
Keywords
power
vdmos
device
thin gate SiO2
threshold voltage shift
total dose radiation
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
用虚拟制造设计低压功率VDMOS
被引量:
3
2
作者
夏宇
王纪民
蒋志
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期72-74,77,共4页
文摘
采用虚拟制造方法设计了低压功率VDMOS器件,并对其进行结构参数、物理参数和电性能参数的模拟测试,确定了器件的物理结构。通过对这些参数和电学特性的分析,进一步优化设计,最终获得了满意的设计参数和性能。
关键词
虚拟制造
低压
功率vdmos器件
结构参数
物理参数
电性能参数
电学特性
优化设计
Keywords
virtual fabrication
vdmos
virtual device
device simulation
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
总剂量辐照加固的功率VDMOS器件
李泽宏
张磊
谭开洲
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
12
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职称材料
2
用虚拟制造设计低压功率VDMOS
夏宇
王纪民
蒋志
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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职称材料
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