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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
被引量：
1
1
作者
刘军
李海华
王庆康
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期1675-1679,共5页
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法...
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.
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关键词
扭臂式静电驱动微执行器
力矩法
Pull-in电压
力电耦合分析方法
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职称材料
题名
微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
被引量：
1
1
作者
刘军
李海华
王庆康
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期1675-1679,共5页
基金
中国科技部国际合作项目(2012DFA11070)
文摘
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.
关键词
扭臂式静电驱动微执行器
力矩法
Pull-in电压
力电耦合分析方法
Keywords
torsion electrostatic micro-actuator
the method of moment
pull-in voltage
electro-mechanical coupling method
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
刘军
李海华
王庆康
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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