用硅压阻式力敏传感器测量液体的表面张力系数 被引量：17

1

作者 陈骏逸 范伟民 《实验室研究与探索》 CAS 2002年第6期42-43,53,共3页

用硅压阻式力敏传感器和环状吊片较精确测量水和酒精等液体的表面张力系数。并测量不同浓度的洗洁精溶液的表面张力系数,得出表面张力系数随洗洁精溶液浓度的增大而减小,并趋于一定值的结论。

关键词 硅压阻式力敏传感器 表面张力系数 环状吊片 液体 系数测量

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于LS-SVM及嵌入式技术的力敏传感器温度补偿 被引量：9

2

作者 乔爱民 何博侠 张炜 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期637-642,共6页

将最小二乘支持向量机(LS-SVM)融合改进模拟退火算法(SA)移植于嵌入式智能仪表中,结合嵌入式技术实现了对力敏传感器的温度补偿。由LS-SVM构建力敏传感器的非线性模型,利用改进的模拟退火算法对LS-SVM中的正则化参数和核宽度进行全局寻... 将最小二乘支持向量机(LS-SVM)融合改进模拟退火算法(SA)移植于嵌入式智能仪表中,结合嵌入式技术实现了对力敏传感器的温度补偿。由LS-SVM构建力敏传感器的非线性模型,利用改进的模拟退火算法对LS-SVM中的正则化参数和核宽度进行全局寻优,并通过设计嵌入式软硬件平台对该方法进行了验证。试验结果表明,该方法具有易实现,补偿精度较高等特点,对基于嵌入式智能仪表的传感器温度补偿有一定的实际意义。 展开更多

关键词 LS-SVM 模拟退火算法 嵌入式技术 力敏传感器 温度补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

导电橡胶力敏传感器研究进展 被引量：4

3

作者 付朝阳 李斌 张学勇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第6期1-4,8,共5页

介绍了导电橡胶力敏传感器的应用前景,分析了导电橡胶传感器的基本特性。通过对该传感器敏感单元制备过程的研究,指出了影响复合材料导电性能的主要因素包括填料类型、填充量、基体材料性能以及制备工艺等。通过对导电橡胶传感器压阻特... 介绍了导电橡胶力敏传感器的应用前景,分析了导电橡胶传感器的基本特性。通过对该传感器敏感单元制备过程的研究,指出了影响复合材料导电性能的主要因素包括填料类型、填充量、基体材料性能以及制备工艺等。通过对导电橡胶传感器压阻特性的研究,阐述了导电橡胶复合材料的导电机理。描述了该传感器的结构设计从检测简单的单向压力到检测三维力的发展过程。表述了制约导电橡胶力敏传感器的发展中的主要因素,并对未来研究方向提出了展望。 展开更多

关键词 导电橡胶 导电特性 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

扩散硅力敏传感器平面工艺CAD——制作扩散电阻的工艺参数设计 被引量：1

4

作者 匡石 张治国 唐慧 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第12期14-17,共4页

扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数... 扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数学模型，再利用计算机进行数值计算，使传感器芯片平面工艺流程的实验过程移植到计算机上进行，通过对工艺参数仿真计算，实现了传感器平面工艺的ＣＡＤ技术。制作传感器扩散电阻需要多个平面工艺步骤，每个工艺步骤都需要确定几个工艺参数，而任意一个工艺参数的变化都将对器件的最终特性有影响。因此在设计传感器时，平面工艺的ＣＡＤ技术将起到重要作用。扩散硅力敏传感器平面工艺ＣＡＤ是基于ＩＣＥＣＲＥＭ 软件进行的。 展开更多

关键词 扩散电阻 CAD 力敏传感器 扩散硅 传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

声表面波力敏传感器的研究 被引量：1

5

作者 李源 冯冠平 丁天怀 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第5期1-5,共5页

本文分析了声表面波（ｓｕｒｆａｃｅａｃｏｕｓｔｉｃｗａｖｅ简称ＳＡＷ）力敏传感器加载后，频率稳定性变差的原因。在此基础上，设计了一种新型的采用等应力加载的力敏传感器，计算了该传感器的灵敏度，并给出了该传感器的频漂实验... 本文分析了声表面波（ｓｕｒｆａｃｅａｃｏｕｓｔｉｃｗａｖｅ简称ＳＡＷ）力敏传感器加载后，频率稳定性变差的原因。在此基础上，设计了一种新型的采用等应力加载的力敏传感器，计算了该传感器的灵敏度，并给出了该传感器的频漂实验和力—频特性实验结果，为传感器的实际应用打下了基础。 展开更多

关键词 声表面波 传感器 力敏传感器 声学仪器

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于力敏传感器测量液体表面张力系数及其表面张力再认识 被引量：12

6

作者 李艳琴 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2010年第8期18-20,共3页

使用高精度的力敏传感器测量了纯净水和15#白油的表面张力系数,分别为72.8 mN/m和30.6mN/m,相对误差分别为0.55%和1.6%,测量误差较小。实验过程中,力敏传感器的数显特点,使学生直观地观察到电压值的变化过程,便于分析液膜拉脱过程的受... 使用高精度的力敏传感器测量了纯净水和15#白油的表面张力系数,分别为72.8 mN/m和30.6mN/m,相对误差分别为0.55%和1.6%,测量误差较小。实验过程中,力敏传感器的数显特点,使学生直观地观察到电压值的变化过程,便于分析液膜拉脱过程的受力情况。比较了纯净水和15#白油的拉脱液膜状态,可得出表面张力系数小的液体拉出的液膜较长。 展开更多

关键词 表面张力系数 拉脱法 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

力敏传感器专用工艺装备研究 被引量：1

7

作者 刘沁 陈信琦 叶挺 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期304-306,共3页

“力敏传感器专用工装设备”研究是国家关于“传感器产业化技术”研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障。其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量。本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对... “力敏传感器专用工装设备”研究是国家关于“传感器产业化技术”研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障。其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量。本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对我国传感器产业技术进步的影响、知识产权等角度介绍力敏传感器科研生产所必需的几台关键设备的攻关成果及所取得的技术水平和主要成绩。 展开更多

关键词 力敏传感器 专用设备 MEMS

在线阅读 下载PDF 职称材料

智能力敏传感器的研制 被引量：1

8

作者 陈章宝 刘平宽 《工矿自动化》 北大核心 2012年第12期13-15,共3页

针对传统的差压密度计和压力式液位计分别存在可靠性不高、不适用于介质密度经常变化的场合的问题,设计了一种基于Freescale MC9S08AW60微控制器的智能力敏传感器,详细介绍了该传感器主要电路的设计。该智能传感器实现了数据采集、信号... 针对传统的差压密度计和压力式液位计分别存在可靠性不高、不适用于介质密度经常变化的场合的问题,设计了一种基于Freescale MC9S08AW60微控制器的智能力敏传感器,详细介绍了该传感器主要电路的设计。该智能传感器实现了数据采集、信号处理、数据通信和电流环输出式数模转换功能。实际应用表明,在-20～+80℃的工作温度范围内,密度测量精度可达±5kg/m3,液位测量不受悬浮液回流和液位波动的影响,很好地满足了工业现场的应用。 展开更多

关键词 重介选煤 密度测量 液位测量 智能传感器 力敏传感器 MC9S08AW60

在线阅读 下载PDF 职称材料

力敏传感器芯片设计分析 被引量：1

9

作者 沈桂芬 《传感技术学报》 CAS CSCD 2000年第1期61-66,共6页

较详细地分析了影响半导体力敏传感器性能的因素；介绍了圆膜片、片方膜、短形膜片上芯片的最佳设计方法．对研制开发新型的力敏传感器有一定的指导意义．

关键词 力敏传感器 半导体 芯片 设计

在线阅读 下载PDF 职称材料

国内力敏传感器的研究进展 被引量：1

10

作者 张桂成 《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第1期38-42,共5页

近年来，国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展，研究内容不断深入，研究范围不断拓宽，器件结构新颖，性能与可靠性有所提高，使应用领域再行扩大．

关键词 力学量传感器 力敏传感器 研究进展 器件结构 器件性能

在线阅读 下载PDF 职称材料

混合集成力敏传感器的研制

11

作者 梅涛 徐新芬 +1 位作者 戈瑜 斯培新 《传感器技术》 CSCD 1990年第4期17-21,共5页

本文对半导体应变式传感器的非线性、温度零漂、灵敏度温度系数、蠕变等参数进行了研究,建立了电子线路综合补偿方法,并采用半导体平面工艺研制成功了小型硅应变片,与混合集成电路技术结合,使敏感元件与补偿、放大电路组合成为一体。

关键词 混合集成 力敏传感器 传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于力敏传感器的假肢手倾斜抓握滑动检测 被引量：2

12

作者 李从波 张翼 邓华 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期125-128,共4页

为了防止假肢手因受干扰而导致抓握失稳,分析并建立倾斜抓握状态下的假肢手抓握力模型,提出一种基于力敏传感器和短时傅里叶变换的滑动检测方法,对不同干扰下的滑动检测进行了实验研究。结果表明:在不同抓握角度下,运用力敏传感器和短... 为了防止假肢手因受干扰而导致抓握失稳,分析并建立倾斜抓握状态下的假肢手抓握力模型,提出一种基于力敏传感器和短时傅里叶变换的滑动检测方法,对不同干扰下的滑动检测进行了实验研究。结果表明:在不同抓握角度下,运用力敏传感器和短时傅里叶变换,能够实时有效地检测出被抓握物体滑动情况,从而可以进一步实施防滑控制。 展开更多

关键词 滑动检测 假肢手 倾斜抓握 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

从扩散硅力敏传感器Class41到智能传感器ST3000——访美国霍尼韦尔公司SSED分部 被引量：1

13

作者 马少梅 徐开先 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第1期14-23,共10页

本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况;介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺;还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较;由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。

关键词 传感器 力敏传感器 智能传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

硅锥场致发射力敏传感器的实验研究

14

作者 关辉 朱长纯 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1993年第3期4-5,共2页

本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺,并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试,获得了较为理想的结果。

关键词 硅锥阵列 场致发射 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

力敏传感器在粉粒流量计中的应用

15

作者 齐鳖 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第6期32-33,共2页

一、前言 近年来,粉粒式流量计已被广泛用于水泥、矿山、粮食、化工和冶金等行业的生产和计量控制,用来测量粉粒物料的瞬时流量和累计重量。

关键词 力敏传感器 流量计 散料 粉粒物料

在线阅读 下载PDF 职称材料

光功率稳定LD驱动力敏传感器的研究

16

作者 王玉田 王莉田 +1 位作者 史锦珊 王珏 《东北重型机械学院学报》 1995年第1期19-22,共4页

在论述了光驱动力敏传感器工作原理的基础上．提出了实用化的闭环振荡式的压电晶体测为光驱动方案．采用光反馈稳定的３ｍＷＬＤ做光源．光驱动距离这５００ｍ．微功耗为敏传感探头总功耗仅为０．２７５ｍＷ．文中介绍了这种新型传感器... 在论述了光驱动力敏传感器工作原理的基础上．提出了实用化的闭环振荡式的压电晶体测为光驱动方案．采用光反馈稳定的３ｍＷＬＤ做光源．光驱动距离这５００ｍ．微功耗为敏传感探头总功耗仅为０．２７５ｍＷ．文中介绍了这种新型传感器的设计思想和实现光驱动的几个关键技术问题．给出了测量力参数的实验曲线． 展开更多

关键词 探头 光驱 光反馈 压电晶体 力敏传感器 传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于SOC单片机及MODBUS协议的数字模拟传感器 被引量：1

17

作者 乔爱民 顾季 张炜 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第12期10-13,共4页

为适应越来越多的数字化传感器的应用要求，同时为兼顾传统应用场合对标准模拟变送信号的需要，设计了一种数字模拟一体化的力敏传感器，采用精确信号混合型SOC单片机C8051F353为控制核心，利用C8051F353片内资源对力敏传感器的应变电... 为适应越来越多的数字化传感器的应用要求，同时为兼顾传统应用场合对标准模拟变送信号的需要，设计了一种数字模拟一体化的力敏传感器，采用精确信号混合型SOC单片机C8051F353为控制核心，利用C8051F353片内资源对力敏传感器的应变电桥输出信号相应的放大、ADC转换等处理，应用MODBUS协议通过RS-485接口将传感器信号以数字方式输出，并设计了4～20mA电流输出电路。传感器目前已经批量应用于油田、港口等测力场合，工作可靠稳定。 展开更多

关键词 SOC单片机 MODBUS协议 RS-485通讯 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进 被引量：3

18

作者 李昕欣 鲍敏杭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期1-6,共6页

提出并利用一种新颖的无掩模腐蚀技术,针对以往硅体微机械加工的电容力敏器件特性的缺陷,从结构入手加以改进.分别制作了加速度对称梁-质量块结构和单边推挽压力结构,并取得了预期的结果.文中给出了理论分析和实验验证.

关键词 力敏传感器 无掩蔽腐蚀工艺 硅电容式 传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

力敏参数简易测量 被引量：2

19

作者 许德华 《传感器技术》 CSCD 1990年第4期32-34,共3页

力学量敏感器件的质量首先取决于力敏材料的性能,其中,尤以弹性模量E、泊松比v、灵敏因子G,以及表征压阻效应之系数π最令人关注。这些物性参数,需要通过标定才能取得可靠的精确值。在研制过程中,经常还需要获得中间成果的及时信息,严... 力学量敏感器件的质量首先取决于力敏材料的性能,其中,尤以弹性模量E、泊松比v、灵敏因子G,以及表征压阻效应之系数π最令人关注。这些物性参数,需要通过标定才能取得可靠的精确值。在研制过程中,经常还需要获得中间成果的及时信息,严格说来可能是不精确的,但所提供的概值肯定有相对比较的意义。本文介绍的简单测试与算法,方便易行,并附实例。 展开更多

关键词 力敏传感器 参数 测量 力学量

在线阅读 下载PDF 职称材料

硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用

20

作者 李昕欣 杨恒 +1 位作者 鲍敏杭 沈绍群 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期6-9,45,共5页

提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺，可制作多层次的硅微机械结构，结构层数原则上不受限制，各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术，给出了制作的几例多层力学量传... 提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺，可制作多层次的硅微机械结构，结构层数原则上不受限制，各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术，给出了制作的几例多层力学量传感器结构结果。该技术将可望广泛应用于半导体微机械传感器和执行器中。 展开更多

关键词 硅 各向异性腐蚀 微结构 力敏传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料