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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)
被引量：
2
1
作者
郑丹
宋朝辉
张鲲
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第11期1-2,共2页
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而...
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ,在消除应力的同时实现了比平膜片还高的力学灵敏度 ,可以提高微压传感器和微麦克风的灵敏度。采用解析和有限元两种方法相结合的方法 ,对该种膜片进行了分析和研究。对比平膜和波纹膜结构 。
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关键词
压力膜片
微机械传感器
力学灵敏度
薄膜残余应力
压力传感器
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职称材料
题名
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)
被引量：
2
1
作者
郑丹
宋朝辉
张鲲
机构
中国科学院上海冶金研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第11期1-2,共2页
基金
国家 973项目"集成微光机电系统研究"(G1 9990 331 0 1 )的资助
文摘
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ,在消除应力的同时实现了比平膜片还高的力学灵敏度 ,可以提高微压传感器和微麦克风的灵敏度。采用解析和有限元两种方法相结合的方法 ,对该种膜片进行了分析和研究。对比平膜和波纹膜结构 。
关键词
压力膜片
微机械传感器
力学灵敏度
薄膜残余应力
压力传感器
Keywords
Pressure-sensitive Diaphragm
Micromachined Sensors
Mechanical Sensitivity
Residual Stress of Thin-film
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)
郑丹
宋朝辉
张鲲
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002
2
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