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微管道内剪应力传感器的研制与优化被引量：3: 1; 作者丁英涛仲顺安谢君堂《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期251-254,共4页; 基于微机电系统(MEMS)微加工工艺,开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器,以多晶硅为热敏元件,在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗.利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃.采用数值模拟的方法对剪应力传... 展开更多; 关键词微电子机械系统剪应力传感器多晶硅多孔硅; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型剪应力传感器的热特性分析被引量：2: 2; 作者丁英涛逯海波 +1 位作者仲顺安谢君堂《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期427-430,共4页; 研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的... 展开更多; 关键词微电子机械系统剪应力传感器灵敏度热敏元件; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型热式剪应力传感器的热特性建模被引量：2: 3; 作者王竹萍仲顺安 +1 位作者聂丹丹刘汝卿《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1112-1116,共5页; 为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与... 展开更多; 关键词微机电系统(MEMS) 微型热式剪应力传感器数学建模灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

水下壁面剪应力传感器温控标定装置研究被引量：1: 4; 作者夏云峰郝思禹 +3 位作者徐华蔡喆伟张世钊闫杰超《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第3期72-77,共6页; 新型壁面剪应力传感器的出现为河口海岸工程中水下壁面剪应力的准确测量提供了新的方式。热式壁面剪应力传感器受环境温度影响显著,相关传感器的研究与应用需要准确的标定。本文基于宽扁管道内壁面切应力与沿程压力梯度的关系,研发了一... 展开更多; 关键词壁面剪应力剪应力传感器水下标定温控; 在线阅读下载PDF 职称材料

动态共振剪应力传感器概念研究: 5; 作者张旭《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第5期5-7,共3页; 提出一种新的基于共振表面元的动态共振墙剪应力传感器概念,并且通过建立理论模型、数值模拟和实验验证进行了系统的研究。研究结果表明动态共振墙剪应力传感器概念能够精确测量低速流场的墙剪应力,而且可能用于壁面湍流流场的控制研究... 展开更多; 关键词动态共振剪应力传感器理论模型数值模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型热敏剪应力传感器的温度补偿被引量：2: 6; 作者杨少华马炳和《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第9期9-11,共3页; 微型热敏剪应力传感器在航空航天等领域有重要应用价值,然而基于热敏感原理的间接剪应力测量会引入流体环境温度的影响。结合热敏剪应力传感器的热交换模型,研究了流体环境温度变化的影响机理。分析了常用温度修正方法的应用局限性,设... 展开更多; 关键词微型剪应力传感器热敏传感器温度补偿环境温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

热膜式剪应力传感器在破碎波作用下的应用初探被引量：2: 7; 作者郝思禹夏云峰 +1 位作者徐华蔡喆伟《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第3期60-65,共6页; 破波区床面剪应力的正确认知对于揭示海岸泥沙输运以及地貌演变的机理具有重要意义。波浪破碎以后带来的紊动和涡旋会对床面剪应力产生显著的影响。采用MEMS柔性热膜式壁面剪应力传感器在波浪水槽中开展了破碎波作用下的床面剪应力测量... 展开更多; 关键词波浪破碎壁面剪应力传感器床面剪应力卷破波; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于结构组件库的MEMS概念设计方法被引量：1: 8; 作者马炳和王辉苑伟政《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期46-50,共5页; 提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式,探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法,借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合... 展开更多; 关键词 MEMS概念设计结构组件功能分解行为匹配剪应力传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

边界层分离点实时检测方法被引量：2: 9; 作者齐勇马炳和 +1 位作者邓进军苑伟政《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第7期59-61,共3页; 微型剪应力传感器以尺寸小、时空分辨率高的特点在边界层分离点测量中表现出了突出的优势。通过分析用于检测流体参数的微型热敏剪应力传感器的工作原理,设计了柔性热敏剪应力传感器阵列和恒流驱动电路。使用DAQPCI6024E及LabVIEW软件... 展开更多; 关键词微剪应力传感器阵列分离点恒流驱动电路实时处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微管道内剪应力传感器的研制与优化被引量：3: 1; 作者丁英涛仲顺安谢君堂; 机构北京理工大学信息科学技术学院电子工程系; 出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期251-254,共4页; 文摘基于微机电系统(MEMS)微加工工艺,开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器,以多晶硅为热敏元件,在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗.利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃.采用数值模拟的方法对剪应力传感器进行了热分析,探讨了提高剪应力传感器灵敏度和线性度的方法,为优化其设计和使用提供了理论基础.数值模拟结果表明:随着微管道深度的增加,传感器灵敏度提高,但线性度下降.; 关键词微电子机械系统剪应力传感器多晶硅多孔硅; Keywords micro electro mechanical systems（MEMS） shear-stress sensor polycrystalline silicon porous silicon; 分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型剪应力传感器的热特性分析被引量：2: 2; 作者丁英涛逯海波仲顺安谢君堂; 机构北京理工大学信息科学技术学院电子工程系; 出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期427-430,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60843005) 北京理工大学基础研究基金资助项目(20070142018); 文摘研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.; 关键词微电子机械系统剪应力传感器灵敏度热敏元件; Keywords micro-electro-mechanical-systems （MEMS） shear-stress sensor sensitivity thermal element; 分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型热式剪应力传感器的热特性建模被引量：2: 3; 作者王竹萍仲顺安聂丹丹刘汝卿; 机构北京理工大学信息与电子学院; 出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1112-1116,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60843005) 北京理工大学基础研究基金资助项目(20070142018); 文摘为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比.结果表明,所建立的数学模型是合理的.; 关键词微机电系统(MEMS) 微型热式剪应力传感器数学建模灵敏度; Keywords MEMS micro thermal shear stress sensor mathematical modeling sensitivity; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名水下壁面剪应力传感器温控标定装置研究被引量：1: 4; 作者夏云峰郝思禹徐华蔡喆伟张世钊闫杰超; 机构南京水利科学研究院水文水资源与水利工程科学国家重点实验室港口航道泥沙工程交通行业重点实验室河海大学港口海岸与近海工程学院; 出处《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第3期72-77,共6页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ040911) 国家自然科学基金项目(51309158); 文摘新型壁面剪应力传感器的出现为河口海岸工程中水下壁面剪应力的准确测量提供了新的方式。热式壁面剪应力传感器受环境温度影响显著,相关传感器的研究与应用需要准确的标定。本文基于宽扁管道内壁面切应力与沿程压力梯度的关系,研发了一种具有温控功能的水下壁面剪应力传感器静态标定装置,可实现不同水温条件下的壁面剪应力输出。该标定装置可提供的最大水温在35℃。最后通过对MEMS柔性热膜式壁面剪应力传感器在不同水温条件下的静态标定实验,确定了不同水温条件下传感器的标定系数,结果表明标定系数B与水温呈线性相关。; 关键词壁面剪应力剪应力传感器水下标定温控; Keywords wall shears tress shear stress sensor un derwater calib ration temp erature control; 分类号 TV131 [水利工程—水力学及河流动力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态共振剪应力传感器概念研究: 5; 作者张旭; 机构中国工程物理研究院流体物理研究所; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第5期5-7,共3页; 文摘提出一种新的基于共振表面元的动态共振墙剪应力传感器概念,并且通过建立理论模型、数值模拟和实验验证进行了系统的研究。研究结果表明动态共振墙剪应力传感器概念能够精确测量低速流场的墙剪应力,而且可能用于壁面湍流流场的控制研究。实验设计了开环和闭环测量控制系统,用于测量动态共振墙剪应力传感器位移随墙剪应力的变化。实验结果表明随着平均墙剪应力的变化,动态共振墙剪应力传感器的共振表面元能够获得可以测到的位移信号。此外,实验结果也充分证明动态共振墙剪应力传感器概念完全可以测量墙剪应力,实验结果与所建立理论模型的数值模拟结果符合较好。; 关键词动态共振剪应力传感器理论模型数值模拟; Keywords dynamic resonance wall shear stress sensor theoretical model numerical simulation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型热敏剪应力传感器的温度补偿被引量：2: 6; 作者杨少华马炳和; 机构西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第9期9-11,共3页; 基金国家自然科学基金项目(50775188); 文摘微型热敏剪应力传感器在航空航天等领域有重要应用价值,然而基于热敏感原理的间接剪应力测量会引入流体环境温度的影响。结合热敏剪应力传感器的热交换模型,研究了流体环境温度变化的影响机理。分析了常用温度修正方法的应用局限性,设计了结合流体温度、从信号处理角度修正传感器输出的温度补偿方法,没有增加电路复杂程度,显著提高了测量精度。测试实验表明:当流体环境温度在10～20℃范围变化时,温度造成的输出信号偏移误差从原来的2%/℃降低到了0.5%/℃,证明了该方法的有效性。; 关键词微型剪应力传感器热敏传感器温度补偿环境温度; Keywords micro shear stress sensor thermal sensor temperature compensation ambient temperature; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热膜式剪应力传感器在破碎波作用下的应用初探被引量：2: 7; 作者郝思禹夏云峰徐华蔡喆伟; 机构南京水利科学研究院河海大学港口海岸与近海工程学院水文水资源与水利工程科学国家重点实验室港口航道泥沙工程交通行业重点实验室; 出处《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第3期60-65,共6页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ040911) 国家自然科学基金项目(51309158); 文摘破波区床面剪应力的正确认知对于揭示海岸泥沙输运以及地貌演变的机理具有重要意义。波浪破碎以后带来的紊动和涡旋会对床面剪应力产生显著的影响。采用MEMS柔性热膜式壁面剪应力传感器在波浪水槽中开展了破碎波作用下的床面剪应力测量应用测试。实验结果表明该壁面剪应力传感器可以应用于破碎波作用下的床面剪应力测量。在破波点之前可以根据近底流速辅助该传感器判断床面剪应力的方向。床面剪应力在波浪破碎之前变化较为平缓,在波浪破碎之后床面剪应力的波动和极值都会增大。斜坡上沿程最大床面剪应力均值的极值出现于卷破水舌入射点之后。; 关键词波浪破碎壁面剪应力传感器床面剪应力卷破波; Keywords breaking waves wall shear stress sensor bed shear stress plunging breaker; 分类号 TV131 [水利工程—水力学及河流动力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于结构组件库的MEMS概念设计方法被引量：1: 8; 作者马炳和王辉苑伟政; 机构西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期46-50,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(50775188) 国家863高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z347); 文摘提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式,探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法,借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合、通过对行为链组合进行功能结构细化获得备选的器件方案。结合航空及空气动力学领域急需的MEMS微型剪应力传感器实例对该概念设计方法进行了阐述。研究表明,该方法对于提高MEMS概念设计效率及方案创新能力、促进MEMS概念设计工具化有积极作用。; 关键词 MEMS概念设计结构组件功能分解行为匹配剪应力传感器; Keywords MEMS conceptual design structural element functional decomposition behavior match shear stress sensor; 分类号 TH122 [机械工程—机械设计及理论] TP391.72 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名边界层分离点实时检测方法被引量：2: 9; 作者齐勇马炳和邓进军苑伟政; 机构西北工业大学微/纳米系统实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第7期59-61,共3页; 基金国家自然科学基金(90305017) 航空基金(04I53074 03I53066); 文摘微型剪应力传感器以尺寸小、时空分辨率高的特点在边界层分离点测量中表现出了突出的优势。通过分析用于检测流体参数的微型热敏剪应力传感器的工作原理,设计了柔性热敏剪应力传感器阵列和恒流驱动电路。使用DAQPCI6024E及LabVIEW软件完成数据采集与实时信号处理,并提出采用均值变化量判断分离点的位置。风洞试验结果表明:该方法可行有效,可精确确定边界层分离点的位置。; 关键词微剪应力传感器阵列分离点恒流驱动电路实时处理; Keywords micro-shear stress sensor array separation point constant current bias circuit real-time processing; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微管道内剪应力传感器的研制与优化	丁英涛仲顺安谢君堂	《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微型剪应力传感器的热特性分析	丁英涛逯海波仲顺安谢君堂	《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微型热式剪应力传感器的热特性建模	王竹萍仲顺安聂丹丹刘汝卿	《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	水下壁面剪应力传感器温控标定装置研究	夏云峰郝思禹徐华蔡喆伟张世钊闫杰超	《实验流体力学》 CSCD 北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	动态共振剪应力传感器概念研究	张旭	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微型热敏剪应力传感器的温度补偿	杨少华马炳和	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	热膜式剪应力传感器在破碎波作用下的应用初探	郝思禹夏云峰徐华蔡喆伟	《实验流体力学》 CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	基于结构组件库的MEMS概念设计方法	马炳和王辉苑伟政	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
9	边界层分离点实时检测方法	齐勇马炳和邓进军苑伟政	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料