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剪切干涉测量中基于Zernike多项式的自适应波前重建 被引量:4
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作者 刘晓军 高咏生 +1 位作者 章明 李柱 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期252-255,共4页
提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法。该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理 ,通过自适应的方式来确定波前重建表达式。推导出剪切相位 Zernike多项式系数与被测波前 Zernike多项式系数的直接转换矩阵 ,提出了自适... 提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法。该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理 ,通过自适应的方式来确定波前重建表达式。推导出剪切相位 Zernike多项式系数与被测波前 Zernike多项式系数的直接转换矩阵 ,提出了自适应确定多项式级次的新算法 ,给出了相应的波前重建数学模型。对算法进行了计算机模拟 ,并应用于实际剪切干涉测量 。 展开更多
关键词 剪切干涉测量 横向剪切干涉 ZERNIKE多项式 波前重建 自适应算法
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