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全自动薄膜应力仪
被引量：
4
1
作者
赵升升
程毓
+1 位作者
张小波
梁凯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期98-102,共5页
基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表...
基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位。此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性。
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关键词
薄膜应力测试仪
应力测试
剥层曲率半径法
残余应力
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职称材料
题名
全自动薄膜应力仪
被引量：
4
1
作者
赵升升
程毓
张小波
梁凯
机构
深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室
深圳市速普仪器有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期98-102,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.51401128)
深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426)
文摘
基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位。此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性。
关键词
薄膜应力测试仪
应力测试
剥层曲率半径法
残余应力
Keywords
Film stress tester
Stress measurement
Stripping Layer Substrate Curvature Technique（SLSCT）
Residual stress
分类号
TH871 [机械工程—精密仪器及机械]
TB331 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
全自动薄膜应力仪
赵升升
程毓
张小波
梁凯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
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