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刻蚀衍射光栅色散特性分析被引量：1: 1; 作者宋军何赛灵何建军《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期318-322,共5页; 对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅 (EDG)的色散特性提出了一种完整的计算方案 ,分析了器件强度响应和相位响应之间的内在关系 .同时通过模拟计算提出并验证了平坦化的同时加剧了色散 ,以及适当改善频谱响应带通纹波大小可以在... 展开更多; 关键词色散刻蚀衍射光栅(EDG) 波分复用平坦化相位响应带通纹波; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计被引量：2: 2; 作者陈鑫武爱民 +5 位作者仇超黄海阳赵瑛璇盛振李伟甘甫烷《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期361-366,共6页; 刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅... 展开更多; 关键词集成光学刻蚀衍射光栅硅基光互连波分复用技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅设计与制备被引量：1: 3; 作者袁配王玥 +3 位作者吴远大安俊明张家顺祝连庆《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第9期226-231,共6页; 刻蚀衍射光栅作为波分复用/解复用器件,有望在光通信系统中得到广泛应用。在基于顶层硅厚度为220 nm的绝缘体上硅材料上设计并制作了一种新型刻蚀衍射光栅,该刻蚀衍射光栅引入六角晶格空气孔型光子晶体作为其反射镜。模拟结果显示,相较... 展开更多; 关键词刻蚀衍射光栅光子晶体硅基光子学波分复用/解复用; 在线阅读下载PDF 职称材料

刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析被引量：3: 4; 作者宋军何赛灵《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1312-1315,共4页; 用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法对不同起伏高度的两... 展开更多; 关键词粗糙面散射矩量法 Moilte CARLO方法平面波导刻蚀衍射光栅(EDG); 在线阅读下载PDF 职称材料

题名刻蚀衍射光栅色散特性分析被引量：1: 1; 作者宋军何赛灵何建军; 机构浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期318-322,共5页; 基金浙江省科技计划重大项目 (项目编号 0 0 110 10 2 7)资助; 文摘对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅 (EDG)的色散特性提出了一种完整的计算方案 ,分析了器件强度响应和相位响应之间的内在关系 .同时通过模拟计算提出并验证了平坦化的同时加剧了色散 ,以及适当改善频谱响应带通纹波大小可以在一定程度上降低器件的色散 .最终指出了使用渐变的抛物线结构多模干涉更有利于得到综合性能最优的平坦频谱 .; 关键词色散刻蚀衍射光栅(EDG) 波分复用平坦化相位响应带通纹波; Keywords Chromatic dispersion Etched diffraction grating (EDG) Wavelength division multiplexing Flattened spectral response Phase Ripple; 分类号 TN256 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计被引量：2: 2; 作者陈鑫武爱民仇超黄海阳赵瑛璇盛振李伟甘甫烷; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院大学; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期361-366,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(61275112 61475180 +2 种基金 11204340) 上海市自然科学基金资助项目(16ZR1442600); 文摘刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅来提高反射效率、降低器件插入损耗,并在入射波导处引入多模干涉耦合器以实现通道频谱平坦化设计。结果表明,闪耀光栅反射面的反射效率由35%提高到了85%,1d B带宽达到12nm。这对于提高系统稳定性、增大传输距离和容量、降低系统成本具有显著作用,能够满足光互连系统的实际应用需求。; 关键词集成光学刻蚀衍射光栅硅基光互连波分复用技术; Keywords integrated optics etching diffraction grating silicon-based optical interconnection wavelength division multiplex; 分类号 TN24 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅设计与制备被引量：1: 3; 作者袁配王玥吴远大安俊明张家顺祝连庆; 机构北京信息科技大学光纤传感与系统北京实验室中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室中国科学院大学材料与光电研究中心; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第9期226-231,共6页; 基金高等学校学科创新引智计划(先进光电子器件与系统学科创新引智基地D17021); 文摘刻蚀衍射光栅作为波分复用/解复用器件,有望在光通信系统中得到广泛应用。在基于顶层硅厚度为220 nm的绝缘体上硅材料上设计并制作了一种新型刻蚀衍射光栅,该刻蚀衍射光栅引入六角晶格空气孔型光子晶体作为其反射镜。模拟结果显示,相较于传统的阶梯光栅反射镜的刻蚀衍射光栅,光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅在理论上可有效降低器件的制作工艺难度以及插入损耗,同时可以实现器件偏振的保持。随后仅利用一步电子束光刻工艺及一步电感耦合等离子体刻蚀工艺制作了该光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅。测试结果表明:该光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅片上损耗为9.51~11.86 dB,串扰为5.87~8.72 dB,后续可通过优化工艺条件和优化输出波导布局,进一步提高器件的性能。; 关键词刻蚀衍射光栅光子晶体硅基光子学波分复用/解复用; Keywords etching diffraction grating photonic crystal silicon photonics wavelength division multiplexing/de-multiplexing; 分类号 TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析被引量：3: 4; 作者宋军何赛灵; 机构浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1312-1315,共4页; 基金浙江省科技计划重大项目 (项目编号 0 0 1 1 0 1 0 2 7); 文摘用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法对不同起伏高度的两种偏振态 ,分别在小角度入射和大角度入射两种情况的随机散射特性应用矩量法做出了分析并以基于二氧化硅波导的EDG器件为例。; 关键词粗糙面散射矩量法 Moilte CARLO方法平面波导刻蚀衍射光栅(EDG); Keywords Rough surface Scattering Method of Moments Monte Carlo method Planar waveguide Etching diffraction grating (EDG); 分类号 TN814.1 [电子电信—信息与通信工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	刻蚀衍射光栅色散特性分析	宋军何赛灵何建军	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计	陈鑫武爱民仇超黄海阳赵瑛璇盛振李伟甘甫烷	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅设计与制备	袁配王玥吴远大安俊明张家顺祝连庆	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2019	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析	宋军何赛灵	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	3	在线阅读下载PDF 职称材料