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分频光栅的衍射特性及误差分析
被引量：
1
1
作者
邢德财
杨李茗
+1 位作者
冯国英
周礼书
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期1166-1170,共5页
基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式,分析了分频光栅的衍射特性,发现入射光波在满足相应的相位延迟条件时,能被分频光栅以最大效率衍射进3个中央级次中的某一级。分析和比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比...
基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式,分析了分频光栅的衍射特性,发现入射光波在满足相应的相位延迟条件时,能被分频光栅以最大效率衍射进3个中央级次中的某一级。分析和比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比误差对衍射效率的影响。在惯性约束聚变(ICF)应用中,对于同一要求的3倍频光的衍射效率范围,两种工艺的刻蚀误差容限是相同的,但是两种工艺的相同刻蚀误差却带来不同的衍射效率。在不计其它误差时,占空比误差不会对3倍频光的衍射效率产生影响,但可以对基频光和2倍频光产生相反的影响,占空比误差还可以使基频光和2倍频光的主要衍射级次的效率都降低,同时增大它们的0级衍射效率。
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关键词
分频光栅
衍射效率
刻蚀深度误差
占空比
误差
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职称材料
题名
分频光栅的衍射特性及误差分析
被引量：
1
1
作者
邢德财
杨李茗
冯国英
周礼书
机构
四川大学电子信息学院
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期1166-1170,共5页
基金
国家863计划项目资助课题
文摘
基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式,分析了分频光栅的衍射特性,发现入射光波在满足相应的相位延迟条件时,能被分频光栅以最大效率衍射进3个中央级次中的某一级。分析和比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比误差对衍射效率的影响。在惯性约束聚变(ICF)应用中,对于同一要求的3倍频光的衍射效率范围,两种工艺的刻蚀误差容限是相同的,但是两种工艺的相同刻蚀误差却带来不同的衍射效率。在不计其它误差时,占空比误差不会对3倍频光的衍射效率产生影响,但可以对基频光和2倍频光产生相反的影响,占空比误差还可以使基频光和2倍频光的主要衍射级次的效率都降低,同时增大它们的0级衍射效率。
关键词
分频光栅
衍射效率
刻蚀深度误差
占空比
误差
Keywords
Error analysis
Etching
Fourier optics
Inertial confinement fusion
Optical devices
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分频光栅的衍射特性及误差分析
邢德财
杨李茗
冯国英
周礼书
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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