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工艺参数对Si深槽刻蚀的影响
被引量：
6
1
作者
杨小兵
王传敏
孙金池
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期424-427,共4页
采用Bosch技术研究了在Si深槽刻蚀中刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体保护时间、刻蚀和钝化工艺重叠时间等工艺参数对刻蚀结果的影响。通过不同工艺条件的试验,发现刻蚀钝化比是影响侧壁结构的主要因素,其大小直接影响了深槽的垂直度;适...
采用Bosch技术研究了在Si深槽刻蚀中刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体保护时间、刻蚀和钝化工艺重叠时间等工艺参数对刻蚀结果的影响。通过不同工艺条件的试验,发现刻蚀钝化比是影响侧壁结构的主要因素,其大小直接影响了深槽的垂直度;适当增加刻蚀阶段钝化气体通入时间对减小线宽损失有很大的作用,但增加过多会产生长草效应;合适的刻蚀和钝化工艺重叠时间,不仅可以减小侧壁表面的起伏度,还可以一定程度上减小线宽损失。采用刻蚀/钝化比为7:5、刻蚀阶段钝化气体通入时间为25min、刻蚀、钝化工艺重叠时间分别为0.5、1s的工艺条件,成功地实现了一个垂直度达(90±0.1)°、深40μm、线宽损失小于50nm的Si深槽刻蚀结构。
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关键词
Bosch技术
Si深槽
刻蚀
刻蚀
/钝化比
长草效应
刻蚀和钝化工艺重叠时间
钝化气体
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职称材料
题名
工艺参数对Si深槽刻蚀的影响
被引量：
6
1
作者
杨小兵
王传敏
孙金池
机构
北京微电子技术研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期424-427,共4页
文摘
采用Bosch技术研究了在Si深槽刻蚀中刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体保护时间、刻蚀和钝化工艺重叠时间等工艺参数对刻蚀结果的影响。通过不同工艺条件的试验,发现刻蚀钝化比是影响侧壁结构的主要因素,其大小直接影响了深槽的垂直度;适当增加刻蚀阶段钝化气体通入时间对减小线宽损失有很大的作用,但增加过多会产生长草效应;合适的刻蚀和钝化工艺重叠时间,不仅可以减小侧壁表面的起伏度,还可以一定程度上减小线宽损失。采用刻蚀/钝化比为7:5、刻蚀阶段钝化气体通入时间为25min、刻蚀、钝化工艺重叠时间分别为0.5、1s的工艺条件,成功地实现了一个垂直度达(90±0.1)°、深40μm、线宽损失小于50nm的Si深槽刻蚀结构。
关键词
Bosch技术
Si深槽
刻蚀
刻蚀
/钝化比
长草效应
刻蚀和钝化工艺重叠时间
钝化气体
Keywords
Bosch technology
etching of deep Si trenches
etch and deposition ratio
grass effect
etch and deposition overrun time
passivation gas
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
工艺参数对Si深槽刻蚀的影响
杨小兵
王传敏
孙金池
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
6
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