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CVD金刚石膜产业化制备技术研究
1
作者
王兵
梅军
+3 位作者
李力
季锡林
冉均国
苟立
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-33,共4页
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与...
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100mm以上,生长速率达到约10μm/h的水平,并制备出100mm×1 5mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.
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关键词
CVD
金刚石膜
产业化
制备
技术
热灯丝
电子辅助热灯丝化学气相沉积装置
化学气相沉积
生长特性
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职称材料
柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展
被引量：
2
2
作者
王松
谢明
+1 位作者
张吉明
杨有才
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1276-1280,共5页
柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池。对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍。分析了多元共蒸发法、金属预置层后...
柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池。对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍。分析了多元共蒸发法、金属预置层后硒化法以及非真空沉积法等CIGS光吸收层制备方法的优缺点,并简要阐述了钠的掺杂与绝缘层材料的使用。综述了柔性衬底CIGS太阳能电池近年来的研究进展,最后就柔性衬底CIGS太阳能电池的研发与产业化过程中存在的问题作了分析与归纳。
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关键词
柔性衬底CIGS太阳能电池
研究进展
制备技术产业化
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职称材料
题名
CVD金刚石膜产业化制备技术研究
1
作者
王兵
梅军
李力
季锡林
冉均国
苟立
机构
四川大学无机材料系
西南结构力学研究所
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-33,共4页
基金
九五"国家重点科技资助项目(军转民)(J9503)
国家自然科学基金资助项目(10275046).
文摘
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100mm以上,生长速率达到约10μm/h的水平,并制备出100mm×1 5mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.
关键词
CVD
金刚石膜
产业化
制备
技术
热灯丝
电子辅助热灯丝化学气相沉积装置
化学气相沉积
生长特性
Keywords
heat filament
CVD diamond
large size
high-speed growth
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展
被引量：
2
2
作者
王松
谢明
张吉明
杨有才
机构
昆明贵金属研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1276-1280,共5页
基金
国家自然科学基金项目(U0837601
51164015)
文摘
柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池。对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍。分析了多元共蒸发法、金属预置层后硒化法以及非真空沉积法等CIGS光吸收层制备方法的优缺点,并简要阐述了钠的掺杂与绝缘层材料的使用。综述了柔性衬底CIGS太阳能电池近年来的研究进展,最后就柔性衬底CIGS太阳能电池的研发与产业化过程中存在的问题作了分析与归纳。
关键词
柔性衬底CIGS太阳能电池
研究进展
制备技术产业化
Keywords
CIGS solar cells on flexible substrates, Research development, Preparation technology, Industrialization
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
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出处
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1
CVD金刚石膜产业化制备技术研究
王兵
梅军
李力
季锡林
冉均国
苟立
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003
0
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职称材料
2
柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展
王松
谢明
张吉明
杨有才
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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