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题名柔性电容式压力传感器制备及测量综合实验
被引量：3
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作者
王海珍
李哲
刘泽一
郭立峰
李德慧
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机构
华中科技大学光学与电子信息学院
华中科技大学武汉光电国家研究中心
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出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2023年第1期247-251,共5页
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基金
华中科技大学2021年实验技术研究项目(校技改项目2021-32)。
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文摘
柔性电容式压力传感器可用于可穿戴器件和人体生理信号监测而受到广泛关注,为此设计了基于柔性电容式压力传感器制备与测量的综合实验。制备了基于金(Au)电极,空气隙和二氧化硅(SiO2)为介电层,聚二甲基硅氧烷/聚对苯二甲酸乙二醇酯(PDMS/PET)为基底的柔性压力传感器,并搭建一套可实现电容式压力传感器实时测量的装置,采用LabVIEW编程控制其测量过程,实现数据实时显示和存储,并对制备的柔性电容式压力传感器进行参数测量。该实验将压力传感器制备方法与微电子器件制造工艺及手段相结合,不仅可以激发学生的科研兴趣,也有利于提升学生的创新能力。
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关键词
柔性电容式压力传感器
制备与测量
创新型实验
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Keywords
flexible capacitive pressure sensors
fabrication and measurement
innovative experiment
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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