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MEMS高g值加速度计力学分析
被引量：
3
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作者
李仁锋
文贵印
程永生
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第7期35-37,40,共4页
运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作。
关键词
微机电系统
加速度计
有限元法
刚度矩阵算法
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职称材料
题名
MEMS高g值加速度计力学分析
被引量：
3
1
作者
李仁锋
文贵印
程永生
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第7期35-37,40,共4页
文摘
运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作。
关键词
微机电系统
加速度计
有限元法
刚度矩阵算法
Keywords
microelectromechanical system(MEMS)
accelerometer
finite element method
rigidity matrix arithmetic
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
MEMS高g值加速度计力学分析
李仁锋
文贵印
程永生
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005
3
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