期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
InSb红外焦平面列阵器件减反射膜淀积方法
1
《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第5期36-36,共1页
本发明公开了一种InSp红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩模架。其方法为淀积温度1000C~105℃,Sill。流量5.8~6.2sccm,N2O流量88~95sccm,腔体压强600~610mτ,淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3.7... 本发明公开了一种InSp红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩模架。其方法为淀积温度1000C~105℃,Sill。流量5.8~6.2sccm,N2O流量88~95sccm,腔体压强600~610mτ,淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3.7~4.8μm工作波段降至8%~19%,从而使得InSb红外焦平面器件的响应率提高30%。沉积减反射膜采用专用金属掩模架,保护了硅CMOS读出电路,使其引线脚部位免于氧化硅膜的淀积。该方法满足了空空导弹制导用InSb红外焦平面器件减反射膜制备的要求. 展开更多
关键词 红外焦平面器件 低温淀积 减反射膜 INSB 列阵器件 CMOS读出电路 氧化硅膜 工作波段
在线阅读 下载PDF
光探测与器件
2
《中国光学》 EI CAS 2002年第2期79-79,共1页
TL816.1 2002021366工业 X-CT 新型探测器技术=Experimental studyof a novel detector’s technique for industrial X-ray computed tomography(CT)[刊,中]/魏彪(重庆大学光电工程学院.重庆(400044)),潘银松,先武(重庆大学机械工程学... TL816.1 2002021366工业 X-CT 新型探测器技术=Experimental studyof a novel detector’s technique for industrial X-ray computed tomography(CT)[刊,中]/魏彪(重庆大学光电工程学院.重庆(400044)),潘银松,先武(重庆大学机械工程学院.重庆(400044))∥重庆大学学报.— 展开更多
关键词 离子探测器 重庆大学 工程学院 机械工程学 微通道板 自扫描光电二极管列阵器件 光探测器 有效强度 高性能聚合物 武汉大学学报
在线阅读 下载PDF
工业X-CT新型探测器技术 被引量:3
3
作者 魏彪 潘银松 先武 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期1-3,31,共4页
探测器及其技术是工业X CT系统中的关键技术之一。文中提出了基于光纤面板光耦合及传输 ,采用闪烁晶体和自扫描光电二极管列阵器件的X射线新型探测器技术方案 ,并对此方案进行了实验研究。结果表明 ,该新型探测器技术方案具有结构紧凑... 探测器及其技术是工业X CT系统中的关键技术之一。文中提出了基于光纤面板光耦合及传输 ,采用闪烁晶体和自扫描光电二极管列阵器件的X射线新型探测器技术方案 ,并对此方案进行了实验研究。结果表明 ,该新型探测器技术方案具有结构紧凑、性能可靠且分辨率高等特点 ,可以实际应用于工业X CT系统中。 展开更多
关键词 工业X-CT CsI(TI)闪烁晶体 光纤面板 自扫描光电二极管列阵器件 探测器
在线阅读 下载PDF
Automated visual position detection and adjustment for optical waveguide chips and optical fiber arrays 被引量:1
4
作者 郑煜 开小超 +1 位作者 段吉安 李白冰 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期3868-3875,共8页
The alignment coupling between optical waveguide chips and optical fiber arrays is the basis of the alignment coupling of planar optical waveguide devices, and the precise position detection with angle and spacing adj... The alignment coupling between optical waveguide chips and optical fiber arrays is the basis of the alignment coupling of planar optical waveguide devices, and the precise position detection with angle and spacing adjustments is one of the key steps of alignment coupling. A methodology for position detection, and angle and spacing adjustment was proposed for optical waveguide chips and optical fiber arrays based on machine vision. The experimental results show angle detection precision levels higher than 0.05°, line detection precision levels higher than 0.1 μm, and detection time less than 2 s. Therefore, the system developed herein meets the precise requirements necessary for position detection, and angle and spacing adjustments for optical waveguide chips and optical fiber arrays. 展开更多
关键词 planar optical waveguide alignment coupling automated alignment machine vision
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部