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太阳能硅片电火花电解复合切割制绒机理研究
被引量：
6
1
作者
刘志东
汪炜
+2 位作者
邱明波
田宗军
黄因慧
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期619-623,共5页
提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割及制绒一体化的新方法。试验表明高速走丝电火花线切割(WEDM-HS)对太阳能硅片切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形成绒面结构,表面无明显微裂纹且切...
提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割及制绒一体化的新方法。试验表明高速走丝电火花线切割(WEDM-HS)对太阳能硅片切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形成绒面结构,表面无明显微裂纹且切割表面不存在电极丝金属残余;在硅表面放电凹坑内由于高温电解复合作用会形成密集、壁面光滑且高深径比的微孔洞结构;绒面结构不受硅材料特别是多晶硅各向同性的影响,且获得的表面反射率略低于目前制绒方法的表面等特性。
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关键词
太阳能硅片
电火花电解复合加工
切割制绒一体化
复合工作液
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职称材料
题名
太阳能硅片电火花电解复合切割制绒机理研究
被引量：
6
1
作者
刘志东
汪炜
邱明波
田宗军
黄因慧
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期619-623,共5页
基金
江苏省高技术研究计划项目(BG2007004)
文摘
提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割及制绒一体化的新方法。试验表明高速走丝电火花线切割(WEDM-HS)对太阳能硅片切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形成绒面结构,表面无明显微裂纹且切割表面不存在电极丝金属残余;在硅表面放电凹坑内由于高温电解复合作用会形成密集、壁面光滑且高深径比的微孔洞结构;绒面结构不受硅材料特别是多晶硅各向同性的影响,且获得的表面反射率略低于目前制绒方法的表面等特性。
关键词
太阳能硅片
电火花电解复合加工
切割制绒一体化
复合工作液
Keywords
solar wafer
compound EDM and ECM technique
cutting with synchronizing texturing
complex dielectric fluid
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
太阳能硅片电火花电解复合切割制绒机理研究
刘志东
汪炜
邱明波
田宗军
黄因慧
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
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