期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计
被引量：
5
1
作者
虞益挺
苑伟政
+1 位作者
乔大勇
李晓莹
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1761-1763,1767,共4页
利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设...
利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微变形镜的各项性能指标完全能满足一般自适应光学系统的应用要求.
展开更多
关键词
微变形镜
分立活塞式
系统级
集成设计平台
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计
被引量：
5
1
作者
虞益挺
苑伟政
乔大勇
李晓莹
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1761-1763,1767,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(90407020)
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-05-0869)
文摘
利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微变形镜的各项性能指标完全能满足一般自适应光学系统的应用要求.
关键词
微变形镜
分立活塞式
系统级
集成设计平台
Keywords
micro deformable mirrors
segmented piston-like
system level
MEMS Garden
分类号
TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计
虞益挺
苑伟政
乔大勇
李晓莹
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
