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线振动硅微机械陀螺结构误差参数分离和辨识
被引量：
12
1
作者
杨军
高钟毓
+2 位作者
张嵘
陈志勇
周斌
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2007年第3期327-333,共7页
推导了线振动微机械陀螺的三自由度误差力学方程,并详细分析了陀螺耦合误差的产生机理。分析结果表明,各种结构误差是导致陀螺耦合误差信号的主要原因。在此基础上,利用振动和模态理论给出了陀螺结构误差参数的分离和辨识的试验方法和...
推导了线振动微机械陀螺的三自由度误差力学方程,并详细分析了陀螺耦合误差的产生机理。分析结果表明,各种结构误差是导致陀螺耦合误差信号的主要原因。在此基础上,利用振动和模态理论给出了陀螺结构误差参数的分离和辨识的试验方法和结果。试验结果表明,同相耦合分量和正交耦合分量是微机械陀螺的两种主要误差信号,造成正交耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的刚度耦合以及驱动轴和检测轴各自的刚度不对称,造成同相耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的阻尼耦合以及检测轴刚度不对称和驱动力不对称。结构误差参数的分离和辨识试验方法将为下一步的陀螺结构优化、微加工工艺改进以及耦合误差抑制提供基础。
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关键词
微机械陀螺
耦合误差
结构误差
分离与辨识
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职称材料
题名
线振动硅微机械陀螺结构误差参数分离和辨识
被引量：
12
1
作者
杨军
高钟毓
张嵘
陈志勇
周斌
机构
清华大学精密仪器及机械学系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2007年第3期327-333,共7页
基金
总装惯性预研(51309050801)
文摘
推导了线振动微机械陀螺的三自由度误差力学方程,并详细分析了陀螺耦合误差的产生机理。分析结果表明,各种结构误差是导致陀螺耦合误差信号的主要原因。在此基础上,利用振动和模态理论给出了陀螺结构误差参数的分离和辨识的试验方法和结果。试验结果表明,同相耦合分量和正交耦合分量是微机械陀螺的两种主要误差信号,造成正交耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的刚度耦合以及驱动轴和检测轴各自的刚度不对称,造成同相耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的阻尼耦合以及检测轴刚度不对称和驱动力不对称。结构误差参数的分离和辨识试验方法将为下一步的陀螺结构优化、微加工工艺改进以及耦合误差抑制提供基础。
关键词
微机械陀螺
耦合误差
结构误差
分离与辨识
Keywords
MEMS gyroscope
cross-coupling error
structure error
error parameters separating and identifying
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
线振动硅微机械陀螺结构误差参数分离和辨识
杨军
高钟毓
张嵘
陈志勇
周斌
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2007
12
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