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单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器: 1; 作者邓成鲍景富 +3 位作者杜亦佳凌源赵兴海郑英彬《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期102-107,共6页; 针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相同。给出了这种移相器的相关理论、设计实例及... 展开更多; 关键词射频微机电系统(RFmems) 分布式mems传输线移相器下拉电压单偏置电压相移偏移; 在线阅读下载PDF 职称材料

五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计被引量：3: 2; 作者高杨贾小慧 +1 位作者秦燃官承秋《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期655-659,共5页; 通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于... 展开更多; 关键词射频微电子机械系统(RF mems) 移相器传输线微开关微桥; 在线阅读下载PDF 职称材料

分布式MEMS移相器桥高度与相移量的机电集成模型及应用被引量：1: 3; 作者王从思殷蕾 +3 位作者李飞应康张轶群王猛《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期1484-1491,共8页; 移相器是控制相控阵天线空间波束捷变的"方向盘",其性能的优良决定着相控阵天线性能的高低。微机电系统(MEMS)移相器优势明显,但由于相控阵天线工作环境复杂,环境载荷会导致MEMS移相器结构变形,进而直接降低整个相控阵天线的... 展开更多; 关键词相控阵天线分布式mems移相器结构变形机电耦合; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型MEMS移相器设计: 4; 作者唐恺吴群 +3 位作者杨国辉孙凤林傅佳辉马伟《遥测遥控》 2007年第5期6-9,52,共5页; 建立Ka波段分布式MEMS移相器的等效电路,设计基于此模型的分布式MEMS移相器,并对其反射损耗与插入损耗进行优化。仿真结果表明,该模型在4GHz工作带宽内反射损耗小于-15dB,在10GHz带宽内插入损耗大于-2dB,单桥相移达到35°。; 关键词分布式mems传输线移相器等效电路 mems金属桥; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器: 1; 作者邓成鲍景富杜亦佳凌源赵兴海郑英彬; 机构电子科技大学电子工程学院中国工程物理研究院电子工程研究所; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期102-107,共6页; 基金国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11176006) 国家部委基金项目(9140A23070311DZ0210) 中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2008A0403016); 文摘针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相同。给出了这种移相器的相关理论、设计实例及仿真结果。通过仿真结果可知,单偏置电压3位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,40.49和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.062%(10 GHz,2.925×10-4 rad)。单偏置电压4位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,32.55,48.41和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.094%(10 GHz,4.425×10-4 rad)。; 关键词射频微机电系统(RFmems) 分布式mems传输线移相器下拉电压单偏置电压相移偏移; Keywords radio frequency micro-electromechanical system（RF mems） DMTL phase shifter pull-in voltage single bias voltage phase shift offset; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN623 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计被引量：3: 2; 作者高杨贾小慧秦燃官承秋; 机构中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学信息工程学院; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期655-659,共5页; 基金中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016 2010A0302013); 文摘通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB,回波损耗均小于-15 dB,相移精度小于0.4°,新的五位移相器以2种单元、19个微桥的结构替代了传统单一单元、31个微桥的结构,可减少微桥的总数;二是CPW传输线采用折叠布局,通过共用部分地线,移相器平面尺寸减小至1.81 mm×3.84 mm,相比传统五位分布式移相器,面积减小了56%,实现了器件的小型化;三是设计了一种新型的直流偏置结构,结构简单、工艺容易实现。; 关键词射频微电子机械系统(RF mems) 移相器传输线微开关微桥; Keywords RF mems phase shifter transmission line micro switch micro bridge; 分类号 TN623 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名分布式MEMS移相器桥高度与相移量的机电集成模型及应用被引量：1: 3; 作者王从思殷蕾李飞应康张轶群王猛; 机构西安电子科技大学电子装备结构设计教育部重点实验室西安华为技术有限公司南京电子技术研究所陕西黄河集团有限公司; 出处《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期1484-1491,共8页; 基金国家自然科学基金(51522507 51475349 +5 种基金 51490660) 国家973计划项目(2015CB857100) KJXX1603 7214479606)~~; 文摘移相器是控制相控阵天线空间波束捷变的"方向盘",其性能的优良决定着相控阵天线性能的高低。微机电系统(MEMS)移相器优势明显,但由于相控阵天线工作环境复杂,环境载荷会导致MEMS移相器结构变形,进而直接降低整个相控阵天线的性能。为此,该文研究MEMS移相器关键结构参数和电性能之间的耦合关系,将复杂环境要素对物理结构的影响传递到结构参数和电参数上,推导出分布式MEMS移相器的机电集成模型,并利用集成模型对变形MEMS移相器进行电性能快速评估和结构公差计算。仿真结果说明了集成模型的有效性和工程应用价值。; 关键词相控阵天线分布式mems移相器结构变形机电耦合; Keywords Phased Array Antenna （PAA） Distributed mems phase shifter Structural distortion Electromechanical coupling; 分类号 TN821 [电子电信—信息与通信工程] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型MEMS移相器设计: 4; 作者唐恺吴群杨国辉孙凤林傅佳辉马伟; 机构哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院空间微波技术国防科技重点实验室; 出处《遥测遥控》 2007年第5期6-9,52,共5页; 基金航空科学基金(20060112105) CAST创新基金(CAST200610) 哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金(HITMD.2003.07); 文摘建立Ka波段分布式MEMS移相器的等效电路,设计基于此模型的分布式MEMS移相器,并对其反射损耗与插入损耗进行优化。仿真结果表明,该模型在4GHz工作带宽内反射损耗小于-15dB,在10GHz带宽内插入损耗大于-2dB,单桥相移达到35°。; 关键词分布式mems传输线移相器等效电路 mems金属桥; Keywords Distributed mems transmission line(DMTL) Phase shifter Equivalent circuit mems bridge; 分类号 TN623 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器	邓成鲍景富杜亦佳凌源赵兴海郑英彬	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计	高杨贾小慧秦燃官承秋	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2011	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	分布式MEMS移相器桥高度与相移量的机电集成模型及应用	王从思殷蕾李飞应康张轶群王猛	《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种新型MEMS移相器设计	唐恺吴群杨国辉孙凤林傅佳辉马伟	《遥测遥控》	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料