磁悬浮分子泵转子振动抑制研究

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作者 姚润晖 周瑾 +2 位作者 丁嵩 张越 徐园平 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期116-122,共7页

磁悬浮分子泵具有工作转速高、转子极转动惯量大等特点,针对磁悬浮分子泵转子在升速过程中出现的弯曲模态振动以及涡动模态振动,提出了一种基于滤波交叉反馈与陷波器的大转动惯量磁悬浮转子控制方法。建立磁悬浮轴承-大转动惯量刚性转... 磁悬浮分子泵具有工作转速高、转子极转动惯量大等特点,针对磁悬浮分子泵转子在升速过程中出现的弯曲模态振动以及涡动模态振动,提出了一种基于滤波交叉反馈与陷波器的大转动惯量磁悬浮转子控制方法。建立磁悬浮轴承-大转动惯量刚性转子系统数学模型,求解得出转子涡动模态频率,根据该模型分析了滤波交叉反馈控制器对涡动模态振动的抑制效果,并且设计了陷波器用于抑制不同转速下的转子弯曲模态振动。试验结果表明,磁悬浮分子泵稳定升速至工作转速18000 r/min,转子振动位移为35μm,弯曲模态振动以及涡动模态振动得到了有效抑制。 展开更多

关键词 磁悬浮分子泵 交叉反馈控制 陷波滤波器 振动抑制

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复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响 被引量：3

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作者 王晓冬 张磊 +1 位作者 巴德纯 陶继忠 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1437-1440,共4页

建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,... 建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,存在最优螺旋槽深,使牵引级的压缩比达到最大;螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小;最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小,随转子转速的增加而增加;当被抽气体为黏滞流时,最优槽深值更小. 展开更多

关键词 复合分子泵 牵引级 理论模型 压缩比 最优槽深

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基于FMECA的高速小型复合分子泵故障分析 被引量：2

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作者 刘有海 张明君 +3 位作者 舒行军 王文升 陶继忠 孙鹏飞 《兵工自动化》 2017年第1期68-70,共3页

针对高速小型复合分子泵各组成单元潜在的各种故障模式及其对产品功能的影响,提出一种基于FMECA的预防或改进措施。通过分析高速小型复合分子泵的各种故障模式及其对整机性能的影响,绘制了高速小型复合分子泵的危害性矩阵图,并确定了支... 针对高速小型复合分子泵各组成单元潜在的各种故障模式及其对产品功能的影响,提出一种基于FMECA的预防或改进措施。通过分析高速小型复合分子泵的各种故障模式及其对整机性能的影响,绘制了高速小型复合分子泵的危害性矩阵图,并确定了支承单元和驱动单元是高速小型复合分子泵的可靠性关键件、薄弱环节。分析结果表明:该研究提出的相应预防或改进措施,为高速小型复合分子泵的优化设计、可靠性增长和故障分析定位提供了可信的参考依据。 展开更多

关键词 可靠性 故障模式 危害性分析 复合分子泵

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基于有限元方法的涡轮分子泵转子系统模态分析 被引量：3

4

作者 王晓冬 孙妍 +1 位作者 方立武 李晓勇 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期411-414,共4页

以FB-一1500型涡轮分子泵为分析原型，依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布，建立了分子泵转子系统几何模型．采用有限元方法对转子系统进行模态分析，获得了转子系统的临界转速和振型．模态分析结果表明：泵运行... 以FB-一1500型涡轮分子泵为分析原型，依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布，建立了分子泵转子系统几何模型．采用有限元方法对转子系统进行模态分析，获得了转子系统的临界转速和振型．模态分析结果表明：泵运行在5～6阶固有频率之间，但未完全满足柔性转子安全设计要求，仍然存在安全隐患．提出改进转轴惯性矩、轴承支撑位置来提高转子系统的固有频率，以确保分子泵的安全运行．获得的转子系统模态，对涡轮分子泵启动加速和停车减速过程控制策略制定、减弱或回避共振带来的安全隐患、提高分子泵使用寿命具有参考价值． 展开更多

关键词 涡轮分子泵 转子系统 临界转速 模态分析 有限元法

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涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究 被引量：5

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作者 孙坤 张世伟 +3 位作者 韩峰 赵凡 张志军 韩进 《真空与低温》 2020年第1期82-86,共5页

针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差。以1~4级组合叶列为例,采用不同... 针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差。以1~4级组合叶列为例,采用不同模拟算法分别对传输概率、最大何氏系数和最大压缩比进行比较研究,与多级动静组合叶列算法相比,采用传统单级叶列算法对涡轮叶列的抽气性能的计算值偏大10%左右。提出的基于动静叶列多级组合算法,是对传统算法的继承和发展,为涡轮分子泵的精准设计提供了一种新的理论计算方法。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 多级组合叶列 算法 传输概率 比较研究

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CSRe团簇内靶的真空与分子泵监测系统的设计 被引量：1

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作者 刘伍丰 乔卫民 +1 位作者 王彦瑜 邵曹杰 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1171-1172,1189,共3页

介绍了国家重大科学工程项目——兰州重离子加速器冷却存储环(HIRFL-CSR)的实验环(CSRe)团簇内靶真空与分子泵监测系统。该系统主要通过一个应用程序获取各真空规及分子泵的状态值,并存入、更新Oracle数据库。浏览器上的ActiveX从Oracl... 介绍了国家重大科学工程项目——兰州重离子加速器冷却存储环(HIRFL-CSR)的实验环(CSRe)团簇内靶真空与分子泵监测系统。该系统主要通过一个应用程序获取各真空规及分子泵的状态值,并存入、更新Oracle数据库。浏览器上的ActiveX从Oracle中读取各设备状态值进行显示,如果状态值在警戒范围,则做出相应的控制操作。该系统在实验测试中运行良好,能满足实验的要求。 展开更多

关键词 实验环 内靶 监测 分子泵

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分子泵机组控制系统的设计

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作者 吕凤年 张臻 尹宪华 《数字技术与应用》 2013年第3期11-11,共1页

在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析... 在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析,设计了一套控制方案,很好地满足了空间滤波器特定的使用要求。 展开更多

关键词 无油分子泵组 空间滤波器 控制

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径向微型分子泵结构设计及抽气性能仿真 被引量：2

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作者 谢天意 谢元华(指导) +5 位作者 窦仁超 孟冬辉 刘坤 巴德纯 孙立臣 闫荣鑫 《航天器环境工程》 北大核心 2021年第1期25-30,共6页

微型分子泵用于航天器上微小型探测仪器的高真空环境获得。着眼于简化结构,减小体积与装配难度,面向径向微型分子泵,针对其核心部件——定转子进行结构设计,并利用ANSYS、COMSOL软件作仿真分析,探究定转子径向结构、叶片角度、节弦比等... 微型分子泵用于航天器上微小型探测仪器的高真空环境获得。着眼于简化结构,减小体积与装配难度,面向径向微型分子泵,针对其核心部件——定转子进行结构设计,并利用ANSYS、COMSOL软件作仿真分析,探究定转子径向结构、叶片角度、节弦比等对泵抽气性能的影响;比较径向与轴向分子泵的抽气效果。结果表明,在同等抽气系统体积下,径向微型分子泵在获得高压缩比方面更具优势。 展开更多

关键词 径向微型分子泵 定转子结构 抽速 压缩比 仿真分析 蒙特卡罗方法

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自主创新 助力国产分子泵勇立潮头——记深圳大学物理科学与技术学院教授储继国

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作者 舒铭泽 江珊 舒鹏 《中国高新科技》 2019年第15期23-24,共2页

从对分子泵的权威理论——贝克尔理论提出质疑并加以证明,到"现代分子泵统计理论"、"涡轮分子泵微分网络理论"和"牵引分子泵自泄漏理论"、分子增压泵、立式径流分子泵(第二代分子增压泵),以及世界上首台... 从对分子泵的权威理论——贝克尔理论提出质疑并加以证明,到"现代分子泵统计理论"、"涡轮分子泵微分网络理论"和"牵引分子泵自泄漏理论"、分子增压泵、立式径流分子泵(第二代分子增压泵),以及世界上首台低成本、无油、大抽速高真空机组——"电弧化学吸附泵机组"的研究与产业化应用,来自深圳大学物理科学与技术学院的教授储继国,正在用自己开放的眼界和开拓精神,实践着"研制世界上性能最好分子泵"的崇高理想. 展开更多

关键词 牵引分子泵 科学与技术 大学物理 自主创新 学院 深圳 国产 涡轮分子泵

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基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究 被引量：2

10

作者 李博 马兆俊 +1 位作者 王晓冬 巴德纯 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1623-1627,1632,共6页

基于直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法,可以计算获得涡轮分子泵叶列在不同稀薄气体流态下的抽气性能.通过改变涡轮叶列旋转速度、气体入口结构尺寸及被抽气体温度等参数,能够得到涡轮分子泵最大抽气效率和最大压缩比的变化情况.比较各参数在... 基于直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法,可以计算获得涡轮分子泵叶列在不同稀薄气体流态下的抽气性能.通过改变涡轮叶列旋转速度、气体入口结构尺寸及被抽气体温度等参数,能够得到涡轮分子泵最大抽气效率和最大压缩比的变化情况.比较各参数在不同流态下对抽气性能的影响程度,并计算不同流态下涡轮叶列返流的变化.计算得出增大叶片速度在分子流态下对涡轮分子泵性能的提升最为明显,缩小气体入口面积可以提升涡轮分子泵压缩比等结论.从而为提升涡轮分子泵抽气性能提供了手段,拓展了涡轮分子泵的工作范围. 展开更多

关键词 涡轮分子泵 DSMC方法 跨流态 抽气效率 压缩比

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径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用

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作者 张永胜 储继国 《真空与低温》 2016年第2期111-113,共3页

通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加... 通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加宽广的镀膜工艺选择空间。这样就有必要对抽气工艺和镀膜工艺进行重组和优化,进一步提升多弧离子镀膜设备的性能和经济效益。 展开更多

关键词 多弧离子镀 径流分子泵 镀膜工艺 抽气特性

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涡轮分子泵三十年

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作者 王桂英 《真空与低温》 1989年第3期48-52,11,共6页

简要回顾了涡轮分子泵的发展史;叙述了它的工作原理。介绍了测定泵的抽速的简易方法。在介绍发展史的同时还说明了它的新应用。涡轮分子泵与差级抽气相结合,使预抽技术有了更高的使用价值,并使小型干式前级泵有了更多的应用。简要预测... 简要回顾了涡轮分子泵的发展史;叙述了它的工作原理。介绍了测定泵的抽速的简易方法。在介绍发展史的同时还说明了它的新应用。涡轮分子泵与差级抽气相结合,使预抽技术有了更高的使用价值,并使小型干式前级泵有了更多的应用。简要预测了涡轮分子泵的发展趋势。 展开更多

关键词 真空装置 真空试验 分子泵

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涡轮分子泵

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《集成电路应用》 2006年第3期37-37,共1页

Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于快速装配的设计。它可以应用于CD／DVD以及其它... Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于快速装配的设计。它可以应用于CD／DVD以及其它的溅射工艺中，以及负荷固定和压力循环中。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 CD/DVD 抽气速率 快速装配 溅射工艺 压力循环

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大排气量高可靠性磁悬浮涡轮分子泵的开发

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作者 山口均 《中国集成电路》 2002年第9期93-99,共7页

概要近年来,以IT行业领军的高新技术产业得到了迅猛的发展。与此同时,涡轮分子泵(TMP:TurboMolecular Pumps)也得到了广泛的应用。尤其以半导体制造、液晶制造等行业最为显著。针对半导体制造工艺的微细加工化、晶圆尺寸的大口径(300mm... 概要近年来,以IT行业领军的高新技术产业得到了迅猛的发展。与此同时,涡轮分子泵(TMP:TurboMolecular Pumps)也得到了广泛的应用。尤其以半导体制造、液晶制造等行业最为显著。针对半导体制造工艺的微细加工化、晶圆尺寸的大口径(300mm)化以及液晶制造流程所要求的高可靠性。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 转子叶片 磁悬浮 电源装置 高可靠性 排气量 半导体制造工艺 排气性能 安全性 电镀技术

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连续泵浦准分子宽带泵浦金属激光器泵浦阈值理论研究 被引量：2

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作者 黄伟 谭荣清 +1 位作者 李志永 路晓川 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期53-59,共7页

基于四能级受激准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)的工作机理建立了连续波半导体激光器泵浦的四能级XPAL理论模型,该模型基于速率方程,考虑泵浦光线宽与伴峰吸收线宽,采用迭代算法求解,主要用于分析半导体激光器连续泵浦四能级XPAL系统... 基于四能级受激准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)的工作机理建立了连续波半导体激光器泵浦的四能级XPAL理论模型,该模型基于速率方程,考虑泵浦光线宽与伴峰吸收线宽,采用迭代算法求解,主要用于分析半导体激光器连续泵浦四能级XPAL系统的泵浦阈值特性。讨论了温度、蒸气室长度、泵浦光线宽、输出耦合率和惰性气体粒子数密度对泵浦阈值的影响,结果表明激光器存在一个最佳温度可以使泵浦阈值达到最小,且在最佳温度附近较大范围内泵浦阈值不会有较大变化。除此之外,对蒸气室长度、输出耦合率、泵浦光线宽和惰性气体粒子数密度的分析表明,相较于惰性气体粒子数密度,其他参数的变化对泵浦阈值的影响较小。而较高的惰性气体粒子数密度可以有效提升增益介质对泵浦光的吸收从而降低阈值。 展开更多

关键词 连续波泵浦 准分子宽带泵浦碱金属激光器 速率方程模型 阈值特性

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单分子-光子制冷泵的热力学行为(Ⅰ)

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作者 秦伟平 秦冠仕 +6 位作者 张继森 吴长锋 赵丹 刘晃清 王继伟 黄世华 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期281-288,共8页

建立了一般意义上的单分子 -光子泵模型 ,并用计算机模拟了在不同能量的光子激发下单个分子作为制冷泵时的量子跃迁过程 ,研究了单分子 -光子泵处于基态和激发态时的热激发过程以及在发生荧光辐射时的声子参与情况 ,得出了基态具有较强... 建立了一般意义上的单分子 -光子泵模型 ,并用计算机模拟了在不同能量的光子激发下单个分子作为制冷泵时的量子跃迁过程 ,研究了单分子 -光子泵处于基态和激发态时的热激发过程以及在发生荧光辐射时的声子参与情况 ,得出了基态具有较强的制冷能力的结论。基态和激发态在光吸收和发射过程中热力学效应是不同的 ,因此在选择反斯托克斯荧光制冷材料时 。 展开更多

关键词 单分子-光子制冷泵 热力学 反斯托克斯 荧光制冷 基态 计算机模拟 量子跃迁 SMPC

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准分子宽带泵浦碱金属激光器泵浦特性分析 被引量：1

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作者 岳德胜 李文煜 +2 位作者 王红岩 杨子宁 许晓军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2537-2542,共6页

建立了以Rb-Ar混合气体为增益介质的四能级准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)含时速率方程模型,计算得到了运转过程各能级粒子数和腔内激光强度随时间的变化曲线。结果表明:XPAL的阈值泵浦强度很高,泵浦源谱宽与吸收线宽匹配不能达到提... 建立了以Rb-Ar混合气体为增益介质的四能级准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)含时速率方程模型,计算得到了运转过程各能级粒子数和腔内激光强度随时间的变化曲线。结果表明:XPAL的阈值泵浦强度很高,泵浦源谱宽与吸收线宽匹配不能达到提高吸收效率、降低阈值的目的;在泵浦功率一定的条件下,增加介质长度和温度可以提高吸收效率,但将降低单位体积泵浦速率;XPAL成功的关键在于实现有效的泵浦吸收。 展开更多

关键词 准分子宽带泵浦碱金属激光器 速率方程模型 泵浦阈值 吸收效率

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准分子宽带泵浦碱金属激光器 被引量：1

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作者 岳德胜 李文煜 +2 位作者 王红岩 杨子宁 许晓军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2271-2276,共6页

基于国内外相关研究成果,对准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)的原理进行了阐述,对其优缺点进行了分析,针对半导体泵浦碱金属蒸气激光器(DPAL)发展中所面临的困难,分析了XPAL解决这些困难的潜力。最后综述了XPAL近年的发展,提出了下一... 基于国内外相关研究成果,对准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)的原理进行了阐述,对其优缺点进行了分析,针对半导体泵浦碱金属蒸气激光器(DPAL)发展中所面临的困难,分析了XPAL解决这些困难的潜力。最后综述了XPAL近年的发展,提出了下一步的发展方向。 展开更多

关键词 激光器 准分子宽带泵浦碱金属激光器 宽带泵浦 吸收伴峰 准分子

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Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能

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《电子工业专用设备》 2014年第2期69-70,共2页

英国西萨克斯郡克劳雷-Edwards有限公司（Edwards Limited）是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司日期推出了其STP—iXA4506大容量涡轮分子泵（TMP）。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和... 英国西萨克斯郡克劳雷-Edwards有限公司（Edwards Limited）是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司日期推出了其STP—iXA4506大容量涡轮分子泵（TMP）。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 大容量 分子真空泵 最大化 增值服务提供商 性能 尾气处理系统 太阳能电池板

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钠与惰性气体及烷烃准分子对吸收系数的实验与理论评价(英文)

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作者 胡墅 盖宝栋 +2 位作者 曹战利 郭敬为 王繁 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第4期848-854,共7页

准分子泵浦钠金属激光器(XPNa L)在钠导星中有着极为重要的应用。但是,传统的准分子对,例如Na-He和Na-Ar等对相对于泵浦源的吸收系数很小。本文对Na-Ar、Na-Xe、Na-CH_4、Na-C_2H_6四个体系进行了研究,从荧光实验和结合能的高精度量化... 准分子泵浦钠金属激光器(XPNa L)在钠导星中有着极为重要的应用。但是,传统的准分子对,例如Na-He和Na-Ar等对相对于泵浦源的吸收系数很小。本文对Na-Ar、Na-Xe、Na-CH_4、Na-C_2H_6四个体系进行了研究,从荧光实验和结合能的高精度量化理论计算两方面来探究比较好的准分子对。实验结果表明:这四个准分子对体系的荧光强度曲线峰面积比为1.0:6.4:4.9:10.4。同时,通过CCSD(T)手段和基组外推法对Na-Ar、Na-Xe、Na-CH_4和Na-C_2H_6准分子对的结合能计算结果分别为52.8、124.5、117.7和150.0cm^(-1)。因此,可以推断量化计算与实验结果能够较好地符合。随后,Na-C_2H_6准分子对从实验和理论两方面被发现是效率最高的体系,更有希望被发展成为高能准分子宽带泵浦钠金属激光器。本工作还证明了采用大基组对结合能的高精度量化计算,对用于准分子宽带泵浦碱金属激光器的准分子对筛选是很好的评判标准。 展开更多

关键词 准分子对 准分子宽带泵浦碱金属激光器 CCSD(T) 基组 荧光 吸收系数

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