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光学自由曲面的超精密加工技术及应用 被引量:13
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作者 李荣彬 杜雪 +2 位作者 张志辉 高栋 赵伟明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第1期17-19,共3页
光学自由曲面是指非对称性、不规则、不适合用统一的光学方程式来描述的光学曲面。自由曲面光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛。采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙的高... 光学自由曲面是指非对称性、不规则、不适合用统一的光学方程式来描述的光学曲面。自由曲面光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛。采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙的高精度水平。文章介绍了光学自由曲面的超精密加工技术及其在光电产品领域的应用 。 展开更多
关键词 超精密加工 光学自由曲面 刀具轨迹生成器 光电产品 光通讯产品 金刚石机床
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