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刀体破损检测技术在划片机中的应用
被引量：
1
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作者
孙彬
郎小虎
+3 位作者
王宏智
王兵锋
樊兵
季峥
《电子工业专用设备》
2014年第5期38-40,共3页
介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法,在理论分析与计算的基础上制定检测方案,通过大量数据分析与处理,设计出抗干扰性强的数字滤波器,降低了系统误报率,提高了设备稳定性,保证了划切质量。
关键词
刀体破损检测
光纤传感器
实时
检测
晶圆
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职称材料
题名
刀体破损检测技术在划片机中的应用
被引量：
1
1
作者
孙彬
郎小虎
王宏智
王兵锋
樊兵
季峥
机构
北京中电科电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2014年第5期38-40,共3页
文摘
介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法,在理论分析与计算的基础上制定检测方案,通过大量数据分析与处理,设计出抗干扰性强的数字滤波器,降低了系统误报率,提高了设备稳定性,保证了划切质量。
关键词
刀体破损检测
光纤传感器
实时
检测
晶圆
Keywords
Blade breakage detector
Optical fiber sensor
Real time inspection
Wafer
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
刀体破损检测技术在划片机中的应用
孙彬
郎小虎
王宏智
王兵锋
樊兵
季峥
《电子工业专用设备》
2014
1
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