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光学成像系统光学波前的高精度测试
被引量：
7
1
作者
邵晶
马冬梅
聂真威
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2582-2588,共7页
基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响。针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算...
基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响。针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题。通过测评实验,对一光学系统进行了测试,获得的光学系统出瞳波前(PV)值为0.196 5λ,RMS值为0.022 4λ(测试波长λ=632.8nm),此波前中主要含有像散、彗差和高阶像散等像差。该方法亦可用于分析光学系统出瞳振幅分布,数值计算其他焦面处的光强分布。测评实验证明了此方法的有效性。
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关键词
光学检测
光学成像系统
光学波前
光
瞳
函数
出瞳振幅分布
相位复原
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职称材料
题名
光学成像系统光学波前的高精度测试
被引量：
7
1
作者
邵晶
马冬梅
聂真威
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2582-2588,共7页
基金
国家科技重大专项基金资助项目
文摘
基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响。针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题。通过测评实验,对一光学系统进行了测试,获得的光学系统出瞳波前(PV)值为0.196 5λ,RMS值为0.022 4λ(测试波长λ=632.8nm),此波前中主要含有像散、彗差和高阶像散等像差。该方法亦可用于分析光学系统出瞳振幅分布,数值计算其他焦面处的光强分布。测评实验证明了此方法的有效性。
关键词
光学检测
光学成像系统
光学波前
光
瞳
函数
出瞳振幅分布
相位复原
Keywords
optical testing
optical imaging system
optical wavefront
pupil function
amplitude in the exit pupil
phase retrieval
分类号
TH70 [机械工程—精密仪器及机械]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学成像系统光学波前的高精度测试
邵晶
马冬梅
聂真威
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
7
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