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HL-1M装置硼化、硅化和锂涂覆壁的出气特性
被引量：
4
1
作者
严东海
王恩耀
+4 位作者
王志文
许正华
张炜
刘建宏
崔成和
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第A07期51-55,共5页
借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ化、Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁的出气特性的对比实验研究。氦直流辉光放电清洗［ＧＤＣ（Ｈｅ）］期间，Ｈ２出气占支配地位，杂质分压与Ｈ２分压成正比，ＧＤＣ后的本底放气率较烘烤去气低。ＧＤ...
借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ化、Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁的出气特性的对比实验研究。氦直流辉光放电清洗［ＧＤＣ（Ｈｅ）］期间，Ｈ２出气占支配地位，杂质分压与Ｈ２分压成正比，ＧＤＣ后的本底放气率较烘烤去气低。ＧＤＣ（Ｈｅ＋Ｈ２）是去除膜的有效方法。对应Ｂ化、Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁，托卡马克放电后的Ｈ２出气量比是１∶０．１３∶０．２１。出Ｈ２量／送Ｈ２量对ＳＳ壁为０．５，对Ｂ化壁为１．８，对Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁则为０．１。对ｎｅ归一化的出气量的Ｈ密度能有效地表示再循环系数（Ｒ）的大小。
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关键词
出气特性
托卡马克
硼化
硅化
锂涂覆壁
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职称材料
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
被引量：
6
2
作者
张亚平
朱颖峰
+1 位作者
刘湘云
何江玲
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期28-31,共4页
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和...
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系。基于扩散理论,建立起材料的放气模型。使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofradir公司提供的数据作参考,对计算公式做标定。根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R]。根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2。应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据。杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况。
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关键词
杜瓦
真空寿命
扩散放气模型
加速因子
烘烤
出气
出气特性
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职称材料
题名
HL-1M装置硼化、硅化和锂涂覆壁的出气特性
被引量：
4
1
作者
严东海
王恩耀
王志文
许正华
张炜
刘建宏
崔成和
机构
核工业西南物理研究院
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第A07期51-55,共5页
文摘
借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ化、Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁的出气特性的对比实验研究。氦直流辉光放电清洗［ＧＤＣ（Ｈｅ）］期间，Ｈ２出气占支配地位，杂质分压与Ｈ２分压成正比，ＧＤＣ后的本底放气率较烘烤去气低。ＧＤＣ（Ｈｅ＋Ｈ２）是去除膜的有效方法。对应Ｂ化、Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁，托卡马克放电后的Ｈ２出气量比是１∶０．１３∶０．２１。出Ｈ２量／送Ｈ２量对ＳＳ壁为０．５，对Ｂ化壁为１．８，对Ｓｉ化和Ｌｉ涂覆壁则为０．１。对ｎｅ归一化的出气量的Ｈ密度能有效地表示再循环系数（Ｒ）的大小。
关键词
出气特性
托卡马克
硼化
硅化
锂涂覆壁
Keywords
Wall conditioning Outgassing performance
分类号
TL631.24 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
被引量：
6
2
作者
张亚平
朱颖峰
刘湘云
何江玲
机构
中国兵器工业集团昆明物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期28-31,共4页
文摘
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系。基于扩散理论,建立起材料的放气模型。使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofradir公司提供的数据作参考,对计算公式做标定。根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R]。根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2。应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据。杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况。
关键词
杜瓦
真空寿命
扩散放气模型
加速因子
烘烤
出气
出气特性
Keywords
Dewar, Vacuum life, Diffuse theory model, Acceleration factor, Bake-out outgassing, Outgassing characteristic
分类号
TB7 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
HL-1M装置硼化、硅化和锂涂覆壁的出气特性
严东海
王恩耀
王志文
许正华
张炜
刘建宏
崔成和
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
张亚平
朱颖峰
刘湘云
何江玲
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
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职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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