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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅
被引量：
1
1
作者
王琼
沈晨
+2 位作者
谭鑫
齐向东
巴音贺希格
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期3-11,共9页
通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化...
通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数。制备了基底尺寸为67mm,曲率半径为156.88mm,刻线密度为45.5gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量。实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求。
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关键词
凸面闪耀光栅
摆动刻蚀
衍射效率
成像光谱仪
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职称材料
题名
摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅
被引量：
1
1
作者
王琼
沈晨
谭鑫
齐向东
巴音贺希格
机构
中国工程物理研究院流体物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期3-11,共9页
基金
中国科学院重大科研装备研制项目(YZ201005)
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)
文摘
通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数。制备了基底尺寸为67mm,曲率半径为156.88mm,刻线密度为45.5gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量。实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求。
关键词
凸面闪耀光栅
摆动刻蚀
衍射效率
成像光谱仪
Keywords
convex blazed gratings
swing etching
diffraction efficiency
imaging spectrometer
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
O433.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅
王琼
沈晨
谭鑫
齐向东
巴音贺希格
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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