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边缘凸起式超显微硬度压痕的共聚焦测量
被引量：
3
1
作者
石伟
张凯林
侯晓东
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期1014-1023,共10页
为了精确测量边缘产生凸起的超显微硬度压痕,采用高分辨率且能获得压痕三维形貌的激光扫描共聚焦显微镜,获得压痕边缘复杂的三维凸起结构。对压痕的三维形貌数据进行分析,利用压痕对角线方法提取压痕的4个角点,计算超显微硬度。然而,压...
为了精确测量边缘产生凸起的超显微硬度压痕,采用高分辨率且能获得压痕三维形貌的激光扫描共聚焦显微镜,获得压痕边缘复杂的三维凸起结构。对压痕的三维形貌数据进行分析,利用压痕对角线方法提取压痕的4个角点,计算超显微硬度。然而,压痕对角线法并不能反映残余压痕的复杂结构,尤其是边缘凸起结构。在测量压痕三维形貌的基础上,为寻找更符合接触力学和压痕形成规律的压头与试样的接触面积,提出了基准平面的概念。通过对压痕面积函数进行微分,寻找最优的基准平面位置,既考虑压痕的边缘凸起,也能很好地反映接触面积。实验结果表明,通过接触力学规律寻找到的最优基准平面测量硬度,其测量误差小于±1.5%、稳定性小于1%。基准平面法可以稳定且准确地得到更符合硬度定义的硬度值。
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关键词
共聚焦显微镜
凸起式
超显微硬度
接触力学
基准平面
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职称材料
题名
边缘凸起式超显微硬度压痕的共聚焦测量
被引量：
3
1
作者
石伟
张凯林
侯晓东
机构
中国航空工业集团公司
北京航空航天大学
东莞材料基因高等理工研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期1014-1023,共10页
基金
国家“十三五”技术基础项目(No.JSJL2016205A014)
广东省引进创新团队项目(No.2016ZT06G025)。
文摘
为了精确测量边缘产生凸起的超显微硬度压痕,采用高分辨率且能获得压痕三维形貌的激光扫描共聚焦显微镜,获得压痕边缘复杂的三维凸起结构。对压痕的三维形貌数据进行分析,利用压痕对角线方法提取压痕的4个角点,计算超显微硬度。然而,压痕对角线法并不能反映残余压痕的复杂结构,尤其是边缘凸起结构。在测量压痕三维形貌的基础上,为寻找更符合接触力学和压痕形成规律的压头与试样的接触面积,提出了基准平面的概念。通过对压痕面积函数进行微分,寻找最优的基准平面位置,既考虑压痕的边缘凸起,也能很好地反映接触面积。实验结果表明,通过接触力学规律寻找到的最优基准平面测量硬度,其测量误差小于±1.5%、稳定性小于1%。基准平面法可以稳定且准确地得到更符合硬度定义的硬度值。
关键词
共聚焦显微镜
凸起式
超显微硬度
接触力学
基准平面
Keywords
confocal microscope
pile-up
ultra-micro hardness
contact mechanics
datum plane
分类号
TB932 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
边缘凸起式超显微硬度压痕的共聚焦测量
石伟
张凯林
侯晓东
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
3
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职称材料
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