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激光跟踪仪几何结构误差标定及修正被引量：4: 1; 作者王珊张滋黎 +5 位作者董登峰周维虎纪荣祎潘映伶王国名崔成君《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1639-1652,共14页; 为了提高激光跟踪仪坐标测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,研究了横竖轴平移误差、横竖轴倾斜误差、激光平移误差和激光倾斜误差的标定和修正方法。利用几何分析法建立了几何结构误差模型,基于投影图像测量仪和检棒、PSD搭建了几何... 展开更多; 关键词激光跟踪仪几何结构误差误差标定误差修正最小二乘法; 在线阅读下载PDF 职称材料

FMCW激光雷达几何结构精度模型与误差修正被引量：2: 2; 作者缪寅宵汪星宇 +2 位作者朱浩鲍晨兴谭久彬《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1295-1303,共9页; 为实现调频连续波(Frequency-modulated Continuous-wave,FMCW)激光雷达的高精度测量,针对激光雷达机械加工及装配过程中引入的几何结构误差,提出了基于激光雷达坐标测量误差的系统误差模型及误差修正方法。建立了激光雷达坐标系组,分... 展开更多; 关键词激光雷达几何结构误差最小二乘法误差修正; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正被引量：1: 3; 作者龚志东王道档 +2 位作者王朝孔明刘维《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期178-184,共7页; 光学偏折术为光学曲面提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式。在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影响最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源... 展开更多; 关键词逆哈特曼检测自由曲面结构几何误差校正 ZERNIKE多项式; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光跟踪仪转镜倾斜误差的标定及修正被引量：19: 4; 作者张滋黎朱涵周维虎《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1205-1212,共8页; 为了提高激光跟踪仪的测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,重点研究了其转镜倾斜误差的标定和修正方法。利用矢量分析和坐标转换相结合的方法建立了跟踪仪转镜倾斜误差模型,推导出了跟踪仪几何空间坐标修正公式,并基于自准直仪、多面... 展开更多; 关键词激光跟踪仪几何结构误差转镜倾斜误差误差修正最小二乘法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光跟踪仪几何结构误差标定及修正被引量：4: 1; 作者王珊张滋黎董登峰周维虎纪荣祎潘映伶王国名崔成君; 机构中国科学院微电子研究所中国科学院大学; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1639-1652,共14页; 基金工业和信息化部高质量专项(No.TC220505T)。; 文摘为了提高激光跟踪仪坐标测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,研究了横竖轴平移误差、横竖轴倾斜误差、激光平移误差和激光倾斜误差的标定和修正方法。利用几何分析法建立了几何结构误差模型,基于投影图像测量仪和检棒、PSD搭建了几何误差参数的标定装置,实现对几何误差的快速自动高精度标定及补偿。最后,利用误差标定实验测量出的几何误差代入误差补偿模型,与标尺的长度进行比对分析。实验结果表明:经几何误差修正后的跟踪仪坐标测量误差从13μm/m减小到4μm/m以内,测量精度约提升了9μm/m,验证了几何误差标定和修正方法的正确性,该方法可以提高激光跟踪仪的坐标测量精度。; 关键词激光跟踪仪几何结构误差误差标定误差修正最小二乘法; Keywords laser tracker geometric errors error calibration error correction least square method; 分类号 TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名FMCW激光雷达几何结构精度模型与误差修正被引量：2: 2; 作者缪寅宵汪星宇朱浩鲍晨兴谭久彬; 机构哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所北京航天计量测试技术研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1295-1303,共9页; 基金国防科工局技术基础科研项目(No.JSJL2020203A001)。; 文摘为实现调频连续波(Frequency-modulated Continuous-wave,FMCW)激光雷达的高精度测量,针对激光雷达机械加工及装配过程中引入的几何结构误差,提出了基于激光雷达坐标测量误差的系统误差模型及误差修正方法。建立了激光雷达坐标系组,分析了空间坐标测量误差的来源。通过坐标系间的变换矩阵,实现了测量坐标的几何误差传递。然后,归并各坐标系的几何误差,建立了显式的激光雷达几何空间坐标误差表达式。并以此为基础,建立最小二乘优化目标,解算各项误差因子和修正后坐标。求得的误差因子可以用作后续坐标测量结果的修正。最后,基于该方法设计了一套以激光跟踪仪为高精度测量仪器、以靶球球心位置为标准点的标定场,使用激光跟踪仪与激光雷达测量相同位置的靶球完成系统误差修正。实验结果表明,经修正激光雷达空间距离测量的平均误差由0.0448%下降到0.0038%,误差极大值由4.17 mm下降到0.30 mm,验证了激光雷达几何结构误差标定和误差修正方法的有效性。; 关键词激光雷达几何结构误差最小二乘法误差修正; Keywords lidar geometric error least square method error correction; 分类号 TN958.98 [电子电信—信号与信息处理] TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正被引量：1: 3; 作者龚志东王道档王朝孔明刘维; 机构中国计量大学计量测试工程学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期178-184,共7页; 基金国家自然科学基金(51775528) 浙江省自然科学基金(LY17E050014) +2 种基金中国博士后科学基金(188766) 广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2017-02)项目资助; 文摘光学偏折术为光学曲面提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式。在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影响最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源,建立各结构几何误差因素与波前像差的对应关系,并提出了一种通用的基于Zernike多项式的高精度系统结构几何误差校正方法。实验结果表明,利用所提出的结构几何误差校正方法可实现纳米量级面形检测精度。同时,所提出的校正方法可有效消除检测系统结构参数标定误差,继而可作为各种曲面、尤其是复杂自由曲面高精度检测中系统结构几何误差的通用性校正方法。; 关键词逆哈特曼检测自由曲面结构几何误差校正 ZERNIKE多项式; Keywords reverse Hartmann test freeform surface misalignment calibration Zernike polynomials; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光跟踪仪转镜倾斜误差的标定及修正被引量：19: 4; 作者张滋黎朱涵周维虎; 机构中国科学院光电研究院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1205-1212,共8页; 基金国家自然科学基金青年基金资助项目(No.11404334) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120022); 文摘为了提高激光跟踪仪的测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,重点研究了其转镜倾斜误差的标定和修正方法。利用矢量分析和坐标转换相结合的方法建立了跟踪仪转镜倾斜误差模型,推导出了跟踪仪几何空间坐标修正公式,并基于自准直仪、多面棱体和可调反射镜建立了高精度误差标定装置。利用标定装置分析了误差标定方法,通过系统仿真研究了转镜倾斜误差对系统测角误差及最终坐标测量误差的影响。利用误差标定实验检测出的系统转镜倾斜误差约为4″,将其带入坐标修正公式,并与修正前的坐标进行了比对分析。对比结果显示,经误差修正后系统空间坐标测量误差可减小约2×10-6,验证了转镜倾斜误差标定和误差修正方法的有效性,表明利用该方法可在不改变系统硬件结构的基础上提高测量系统的测量精度。; 关键词激光跟踪仪几何结构误差转镜倾斜误差误差修正最小二乘法; Keywords laser tracker geometric error mirror tilt error error correction least square method; 分类号 V556.7 [航空宇航科学与技术—人机与环境工程] TB922 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	激光跟踪仪几何结构误差标定及修正	王珊张滋黎董登峰周维虎纪荣祎潘映伶王国名崔成君	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	FMCW激光雷达几何结构精度模型与误差修正	缪寅宵汪星宇朱浩鲍晨兴谭久彬	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正	龚志东王道档王朝孔明刘维	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光跟踪仪转镜倾斜误差的标定及修正	张滋黎朱涵周维虎	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	19	在线阅读下载PDF 职称材料