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湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
1
作者
黄鹭
施玉书
+5 位作者
马爱文
曹丛
李琪
李伟
李适
高思田
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017年第S1期43-46,共4页
对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使...
对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75%时对测量结果影响尤为显著。因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控。
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关键词
计量学
原子力显微镜
环境湿度
纳米栅格
几何形貌测量
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职称材料
题名
湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
1
作者
黄鹭
施玉书
马爱文
曹丛
李琪
李伟
李适
高思田
机构
中国计量科学研究院
中国计量测试学会
山东省计量院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017年第S1期43-46,共4页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFA0200901
2016YFF0200602)
文摘
对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75%时对测量结果影响尤为显著。因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控。
关键词
计量学
原子力显微镜
环境湿度
纳米栅格
几何形貌测量
Keywords
metrology
atomic force microscopy
environmental humidity
nano grating
dimensional measurement
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
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1
湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
黄鹭
施玉书
马爱文
曹丛
李琪
李伟
李适
高思田
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017
0
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