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一种球柱面一体化透镜的几何光学设计
被引量:
2
1
作者
孙桂林
张小星
杜玲
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期26-29,共4页
提出了一种可使光轴折转90°,利用球面的折射和反射使子午面内的光束变为平行光,利用球面和柱面使弧矢光束会聚且有实焦点的球柱面一体化透镜,分析讨论了其近轴光学特性,给出了一些约束条件。这种透镜具有批量生产成本低、数...
提出了一种可使光轴折转90°,利用球面的折射和反射使子午面内的光束变为平行光,利用球面和柱面使弧矢光束会聚且有实焦点的球柱面一体化透镜,分析讨论了其近轴光学特性,给出了一些约束条件。这种透镜具有批量生产成本低、数值孔径大等优点,可用于把基模高斯细圆光束变换为线光束。
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关键词
透镜
几何光学设计
高斯光束变换
球面
柱面
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职称材料
消色差的1/4波长延迟器的几何光学设计
被引量:
7
2
作者
马万里
陈良尧
+3 位作者
周仕明
张荣君
郑玉祥
戴宁
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期236-239,共4页
在许多光谱学测量和实验研究中 ,常需要一个消色差 1 / 4波长延迟器来满足各种实验测量条件 .这可以通过一个在工作波长范围内折射率变化较小的菱型棱镜来实现 .为了使用方便 ,在光学系统中可设计一个具有三个全内反射面的 V型棱镜 ,其...
在许多光谱学测量和实验研究中 ,常需要一个消色差 1 / 4波长延迟器来满足各种实验测量条件 .这可以通过一个在工作波长范围内折射率变化较小的菱型棱镜来实现 .为了使用方便 ,在光学系统中可设计一个具有三个全内反射面的 V型棱镜 ,其总的相位延迟达90°,同时可避免光路偏差 .在实际应用中 ,需对棱镜的尺寸和通光孔径进行优化设计 ,以达到最佳效果 .在本文中 ,我们给出了具有这种结构的几何设计例子 ,还结合不同参量成功地设计研制了一个消色差的 1 / 4波长延迟器 ,并应用于磁光材料的克尔效应测量中 .文中给出了详细计算和误差修正 ,所给出的计算公式可用于其他尺寸的消色差 1 / 4波长器的设计和研制 .
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关键词
消色差1/4波长延迟器
光学
棱镜
几何光学设计
光偏振态
光谱学测量
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职称材料
三重共轭消杂散光光学系统的设计方法研究(英文)
被引量:
2
3
作者
于清华
肖锡晟
+1 位作者
陈凡胜
孙胜利
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期8-14,共7页
杂散光抑制能力是光学系统的重要评价指标.红外光学系统不仅受到外部杂散光影响,而且受到仪器内部杂散光影响.传统的"物-像"共轭光学系统的设计方法未能全面考虑杂散光的抑制问题.提出一种三重共轭光学系统的设计方法,该方法...
杂散光抑制能力是光学系统的重要评价指标.红外光学系统不仅受到外部杂散光影响,而且受到仪器内部杂散光影响.传统的"物-像"共轭光学系统的设计方法未能全面考虑杂散光的抑制问题.提出一种三重共轭光学系统的设计方法,该方法设计出的光学系统具有"物-像"、"物-中间像"和"入瞳-出瞳"三重共轭关系,具有同时抑制内部和外部杂散光的能力.基于该方法设计出一种离轴三反射式消像散光学系统,该系统F/#=4、一维线视场7°,离轴5度视场外点源透过率低于5×10^(-4),系统冷屏效率达到96%,并获得良好的在轨图像.
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关键词
成像系统
几何光学设计
红外
光学
遥感仪器
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职称材料
高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计
被引量:
15
4
作者
毛姗姗
李艳秋
+3 位作者
刘克
刘丽辉
郑猛
闫旭
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第8期170-176,共7页
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。...
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。依据物镜形态参数判别引入自由曲面的最佳位置,能够有效校正系统像差,在不影响成像性能的情况下增大系统NA。应用该方法设计了一套高NA自由曲面EUVL投影物镜(PO)。与初始非球面物镜相比,通过增加四面自由曲面,将物镜数值孔径从0.3增大至0.35,波像差均方根(RMS)值从1nm减小至0.4nm,整个系统光路无遮拦。设计结果表明:该方法有效提高了自由曲面EUVL物镜设计效率,在不产生遮拦的情况下,不但增大了系统NA且减小了系统波像差,提高了物镜整体性能。
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关键词
物镜系统
设计
几何光学设计
自由曲面
极紫外
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职称材料
题名
一种球柱面一体化透镜的几何光学设计
被引量:
2
1
作者
孙桂林
张小星
杜玲
机构
北京机械工业学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期26-29,共4页
文摘
提出了一种可使光轴折转90°,利用球面的折射和反射使子午面内的光束变为平行光,利用球面和柱面使弧矢光束会聚且有实焦点的球柱面一体化透镜,分析讨论了其近轴光学特性,给出了一些约束条件。这种透镜具有批量生产成本低、数值孔径大等优点,可用于把基模高斯细圆光束变换为线光束。
关键词
透镜
几何光学设计
高斯光束变换
球面
柱面
Keywords
lens geometrical optical design Gaussian beam transformation sphere cylinder line beam
分类号
TH744.502 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
消色差的1/4波长延迟器的几何光学设计
被引量:
7
2
作者
马万里
陈良尧
周仕明
张荣君
郑玉祥
戴宁
机构
复旦大学物理系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期236-239,共4页
基金
国家自然科学基金! (项目编号 :698780 0 3 )
上海应用物理研究中心资助项目
文摘
在许多光谱学测量和实验研究中 ,常需要一个消色差 1 / 4波长延迟器来满足各种实验测量条件 .这可以通过一个在工作波长范围内折射率变化较小的菱型棱镜来实现 .为了使用方便 ,在光学系统中可设计一个具有三个全内反射面的 V型棱镜 ,其总的相位延迟达90°,同时可避免光路偏差 .在实际应用中 ,需对棱镜的尺寸和通光孔径进行优化设计 ,以达到最佳效果 .在本文中 ,我们给出了具有这种结构的几何设计例子 ,还结合不同参量成功地设计研制了一个消色差的 1 / 4波长延迟器 ,并应用于磁光材料的克尔效应测量中 .文中给出了详细计算和误差修正 ,所给出的计算公式可用于其他尺寸的消色差 1 / 4波长器的设计和研制 .
关键词
消色差1/4波长延迟器
光学
棱镜
几何光学设计
光偏振态
光谱学测量
Keywords
Optical retarder
Optical rhomb prism
分类号
TH741.4 [机械工程—光学工程]
O435 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
三重共轭消杂散光光学系统的设计方法研究(英文)
被引量:
2
3
作者
于清华
肖锡晟
陈凡胜
孙胜利
机构
中国科学院上海技术物理研究所
中国科学院红外智能感知重点实验室
中国科学院大学
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期8-14,共7页
基金
Supported by Youth Innovation Promotion Association of the Chinese Academy of Sciences(20150192)
The equipment department of thespace system department(30508020216)
文摘
杂散光抑制能力是光学系统的重要评价指标.红外光学系统不仅受到外部杂散光影响,而且受到仪器内部杂散光影响.传统的"物-像"共轭光学系统的设计方法未能全面考虑杂散光的抑制问题.提出一种三重共轭光学系统的设计方法,该方法设计出的光学系统具有"物-像"、"物-中间像"和"入瞳-出瞳"三重共轭关系,具有同时抑制内部和外部杂散光的能力.基于该方法设计出一种离轴三反射式消像散光学系统,该系统F/#=4、一维线视场7°,离轴5度视场外点源透过率低于5×10^(-4),系统冷屏效率达到96%,并获得良好的在轨图像.
关键词
成像系统
几何光学设计
红外
光学
遥感仪器
Keywords
imaging systems
geometric optical design
infrared optical remote sensor
分类号
O435.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计
被引量:
15
4
作者
毛姗姗
李艳秋
刘克
刘丽辉
郑猛
闫旭
机构
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第8期170-176,共7页
基金
国家科技重大专项(ZX02702001-002)
国家自然科学基金(61675026)
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(11627808)
文摘
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。依据物镜形态参数判别引入自由曲面的最佳位置,能够有效校正系统像差,在不影响成像性能的情况下增大系统NA。应用该方法设计了一套高NA自由曲面EUVL投影物镜(PO)。与初始非球面物镜相比,通过增加四面自由曲面,将物镜数值孔径从0.3增大至0.35,波像差均方根(RMS)值从1nm减小至0.4nm,整个系统光路无遮拦。设计结果表明:该方法有效提高了自由曲面EUVL物镜设计效率,在不产生遮拦的情况下,不但增大了系统NA且减小了系统波像差,提高了物镜整体性能。
关键词
物镜系统
设计
几何光学设计
自由曲面
极紫外
Keywords
lens system design
geometric optical design
freeform surface
extreme ultraviolet
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种球柱面一体化透镜的几何光学设计
孙桂林
张小星
杜玲
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
消色差的1/4波长延迟器的几何光学设计
马万里
陈良尧
周仕明
张荣君
郑玉祥
戴宁
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
三重共轭消杂散光光学系统的设计方法研究(英文)
于清华
肖锡晟
陈凡胜
孙胜利
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计
毛姗姗
李艳秋
刘克
刘丽辉
郑猛
闫旭
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019
15
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职称材料
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