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化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展
被引量：
1
1
作者
贺春林
杨雪飞
+2 位作者
马国峰
王建明
才庆魁
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2012年第6期19-25,共7页
硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进...
硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进展,重点介绍了贵金属辅助化学刻蚀技术的最新研究成果.
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关键词
太阳能电池
减反射结构
硅
化学刻蚀
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职称材料
题名
化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展
被引量：
1
1
作者
贺春林
杨雪飞
马国峰
王建明
才庆魁
机构
沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室
出处
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2012年第6期19-25,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51171118)
沈阳市科技基金资助项目(F10-205-1-60)
文摘
硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进展,重点介绍了贵金属辅助化学刻蚀技术的最新研究成果.
关键词
太阳能电池
减反射结构
硅
化学刻蚀
Keywords
solar cell
antireflection structure
silicon
chemical etching
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展
贺春林
杨雪飞
马国峰
王建明
才庆魁
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2012
1
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