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PZT铁电薄膜的制备和应用
1
作者
戴宁
胡淑红
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胡古今
洪学
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z5期119-122,共4页
介绍了一种制备膜厚为数微米的均匀相和非均匀相(准周期性多层膜)铁电薄膜的有效方法,研究了 PZT 平面波导结构的光波导特性及准周期性多层铁电薄膜的布拉格反射特性。研究表明厚度在数微米的均匀相铁电薄膜膜层致密,棱镜耦合实验表明...
介绍了一种制备膜厚为数微米的均匀相和非均匀相(准周期性多层膜)铁电薄膜的有效方法,研究了 PZT 平面波导结构的光波导特性及准周期性多层铁电薄膜的布拉格反射特性。研究表明厚度在数微米的均匀相铁电薄膜膜层致密,棱镜耦合实验表明该铁电薄膜波导层对光波的传播有良好的限定性能。准周期铁电多层薄膜具有良好的布拉格反射特性,周期数为10以上的铁电多层膜样品在室温下具有90%以上的反射率和约40 nm 的反射带宽。
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关键词
PZT薄
膜
准周期铁电多层膜
光波导特性
布拉格反射器
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职称材料
题名
PZT铁电薄膜的制备和应用
1
作者
戴宁
胡淑红
胡古今
洪学
机构
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z5期119-122,共4页
文摘
介绍了一种制备膜厚为数微米的均匀相和非均匀相(准周期性多层膜)铁电薄膜的有效方法,研究了 PZT 平面波导结构的光波导特性及准周期性多层铁电薄膜的布拉格反射特性。研究表明厚度在数微米的均匀相铁电薄膜膜层致密,棱镜耦合实验表明该铁电薄膜波导层对光波的传播有良好的限定性能。准周期铁电多层薄膜具有良好的布拉格反射特性,周期数为10以上的铁电多层膜样品在室温下具有90%以上的反射率和约40 nm 的反射带宽。
关键词
PZT薄
膜
准周期铁电多层膜
光波导特性
布拉格反射器
Keywords
PZT film
Quasiperiodic ferroelectric multiplayer
Optical waveguide properties
Bragg reflector
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN25 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
PZT铁电薄膜的制备和应用
戴宁
胡淑红
胡古今
洪学
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006
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