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题名准分子激光微加工应用研究进展
被引量：3
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作者
何立文
方晓东
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机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院
中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期641-648,共8页
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文摘
准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。
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关键词
激光技术
准分子激光微加工
集成芯片3D封装
微机电系统材料微加工
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Keywords
laser technique
excimer laser micromachining
integrated chip 3D package
micro-electro-mechanical system material micromachining
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名基于157nm激光制作的微光纤F-P折射率传感器
被引量：2
- 2
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作者
刘为俊
饶云江
冉曾令
廖弦
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机构
电子科技大学宽带光纤传输与通信网技术教育部重点实验室
重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期99-102,共4页
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基金
国家自然科学重点项目(60537040)资助
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文摘
分析了157nm激光制作的光纤法珀折射率传感器的传感特性.采用干涉条纹计数的方法对法珀腔的反射光谱进行解调,避免了光强波动的影响,同时具有较宽的折射率(RI)范围.在0～70℃范围内25μm的法珀腔腔长变化量为6.25nm,等效折射率变化为～2.46×10-4.常温下对折射率范围为1.33～1.427的甘油(丙三醇)溶液进行了测量,实验结果曲线的相关系数为0.9951,测量准确度为～3.70×10-4.
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关键词
导波光学
折射率传感器
光纤法珀腔
准分子激光微加工
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Keywords
5Wave-guided optics
Refractive index sensor
Optical fiber F-P cavity
Excimer lasermicromachining
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分类号
TN25
[电子电信—物理电子学]
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