期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于Fluent仿真的原子层沉积法制备镀膜毛细管研究
1
作者
赵慧斌
李艳丽
+3 位作者
吕文思
孔祥东
韩立
张贺
《光子学报》
北大核心
2025年第3期242-252,共11页
采用Fluent仿真工具对三种模型下气体在毛细管内的流通过程进行模拟,通过稳态和瞬态仿真,系统研究了不同模型下,气体在腔室和毛细管内的扩散过程。仿真结果显示,当毛细管与一个出气口连接,其余出气口全部打开时,流经毛细管的气体充足,...
采用Fluent仿真工具对三种模型下气体在毛细管内的流通过程进行模拟,通过稳态和瞬态仿真,系统研究了不同模型下,气体在腔室和毛细管内的扩散过程。仿真结果显示,当毛细管与一个出气口连接,其余出气口全部打开时,流经毛细管的气体充足,在吹扫过程结束时,腔室内无多余气体残留。在此基础上,根据三种模型,利用原子层沉积技术在单毛细管内表面制备了HfO_(2)薄膜,测试结果与仿真分析结果一致。采用优化的镀膜模型实现在毛细管内表面生长厚度均匀、表面光滑的薄膜。
展开更多
关键词
Fluent仿真
原子层沉积
毛细管
内表面镀膜
气体扩散
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于Fluent仿真的原子层沉积法制备镀膜毛细管研究
1
作者
赵慧斌
李艳丽
吕文思
孔祥东
韩立
张贺
机构
中国科学院电工研究所
出处
《光子学报》
北大核心
2025年第3期242-252,共11页
基金
国家重点研发计划(No.2019YFB1503502)
国家自然科学基金(No.12104454)
中国科学院电工研究所基金(No.E1554404)。
文摘
采用Fluent仿真工具对三种模型下气体在毛细管内的流通过程进行模拟,通过稳态和瞬态仿真,系统研究了不同模型下,气体在腔室和毛细管内的扩散过程。仿真结果显示,当毛细管与一个出气口连接,其余出气口全部打开时,流经毛细管的气体充足,在吹扫过程结束时,腔室内无多余气体残留。在此基础上,根据三种模型,利用原子层沉积技术在单毛细管内表面制备了HfO_(2)薄膜,测试结果与仿真分析结果一致。采用优化的镀膜模型实现在毛细管内表面生长厚度均匀、表面光滑的薄膜。
关键词
Fluent仿真
原子层沉积
毛细管
内表面镀膜
气体扩散
Keywords
Fluent simulation
Atomic layer deposition
Capillary
Inner surface coating
Gas diffusion
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Fluent仿真的原子层沉积法制备镀膜毛细管研究
赵慧斌
李艳丽
吕文思
孔祥东
韩立
张贺
《光子学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
